वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए टैंटलम कार्बाइड कोटिंग सामग्री का अग्रणी निर्माता है। हमारे मुख्य उत्पाद प्रस्तावों में सीवीडी टैंटलम कार्बाइड कोटिंग पार्ट्स, सीआईसी क्रिस्टल विकास या सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी प्रक्रिया के लिए सिंटेड टीएसी कोटिंग पार्ट्स शामिल हैं। ISO9001 पारित, VeTek सेमीकंडक्टर का गुणवत्ता पर अच्छा नियंत्रण है। वीटेक सेमीकंडक्टर पुनरावृत्त प्रौद्योगिकियों के चल रहे अनुसंधान और विकास के माध्यम से टैंटलम कार्बाइड कोटिंग उद्योग में प्रर्वतक बनने के लिए समर्पित है।
मुख्य उत्पाद हैंटैंटलम कार्बाइड कोटिंग डिफेक्टर रिंग, TaC कोटेड डायवर्जन रिंग, TaC कोटेड हाफमून पार्ट्स, टैंटलम कार्बाइड कोटेड प्लैनेटरी रोटेशन डिस्क (Aixtron G10), TaC कोटेड क्रूसिबल; TaC लेपित छल्ले; TaC लेपित झरझरा ग्रेफाइट; टैंटलम कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट सुसेप्टर; TaC लेपित गाइड रिंग; TaC टैंटलम कार्बाइड लेपित प्लेट; TaC लेपित वेफर सुसेप्टर; TaC कोटिंग रिंग; TaC कोटिंग ग्रेफाइट कवर; TaC लेपित हिस्साआदि, शुद्धता 5ppm से कम है, ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।
TaC कोटिंग ग्रेफाइट एक मालिकाना रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रिया द्वारा टैंटलम कार्बाइड की एक महीन परत के साथ उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट की सतह को कोटिंग करके बनाया जाता है। लाभ नीचे चित्र में दिखाया गया है:
टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग ने 3880°C तक के अपने उच्च गलनांक, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति, कठोरता और थर्मल झटके के प्रतिरोध के कारण ध्यान आकर्षित किया है, जिससे यह उच्च तापमान आवश्यकताओं के साथ यौगिक अर्धचालक एपिटेक्सी प्रक्रियाओं का एक आकर्षक विकल्प बन गया है। जैसे ऐक्सट्रॉन एमओसीवीडी सिस्टम और एलपीई सीआईसी एपिटैक्सी प्रक्रिया। इसका पीवीटी विधि सीआईसी क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में भी व्यापक अनुप्रयोग है।
●तापमान स्थिरता
●अति उच्च शुद्धता
●H2, NH3, SiH4,Si का प्रतिरोध
●थर्मल स्टॉक का प्रतिरोध
●ग्रेफाइट पर मजबूत आसंजन
●अनुरूप कोटिंग कवरेज
● 750 मिमी व्यास तक का आकार (चीन में एकमात्र निर्माता इस आकार तक पहुंचता है)
● आगमनात्मक ताप संग्राहक
● प्रतिरोधक ताप तत्व
● हीट शील्ड
TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
प्रतिरोध | 1×10-5ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
कोटिंग की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |
तत्व | परमाणु प्रतिशत | |||
पं. 1 | पं. 2 | पं. 3 | औसत | |
सी के | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
उन्हें | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek सेमीकंडक्टर चीन में क्रिस्टल ग्रोथ निर्माता और प्रर्वतक के लिए एक अग्रणी टैंटलम कार्बाइड लेपित ट्यूब है। हम कई वर्षों से सिरेमिक कोटिंग में विशेषज्ञता प्राप्त कर रहे हैं। हमारे उत्पादों में उच्च शुद्धता और उच्च तापमान प्रतिरोध है। हम आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं चाइना में।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर चीन में SiC एपिटैक्सियल रिएक्टर निर्माता और प्रर्वतक के लिए एक बड़े पैमाने पर TaC लेपित रिंग है। हम कई वर्षों से TaC कोटिंग में विशेष हैं। हमारे उत्पादों में उच्च शुद्धता, उच्च स्थिरता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, उच्च बंधन शक्ति है। हम देखते हैं चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर चीन में LPE निर्माता और प्रर्वतक के लिए एक बड़े पैमाने पर टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट है। हम कई वर्षों से TaC कोटिंग में विशेषज्ञता प्राप्त कर चुके हैं। हमारे उत्पाद 2000 डिग्री सेल्सियस से ऊपर तापमान का सामना कर सकते हैं, उपभोग्य सामग्रियों के जीवनकाल को बढ़ा सकते हैं। हम आगे देखते हैं चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर चीन में एक अग्रणी TaC कोटेड गाइड रिंग निर्माता और प्रर्वतक है। हम कई वर्षों से सिरेमिक कोटिंग में विशेषज्ञता प्राप्त कर रहे हैं। TaC कोटेड गाइड रिंग का उपयोग मुख्य रूप से एयरफ्लो को निर्देशित करने और नियंत्रित करने के लिए किया जाता है, जो एकल क्रिस्टल विकास की उपज को बढ़ाता है। अधिक जानकारी के लिए हमसे पूछताछ करने के लिए आपका स्वागत है।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर चीन में एक अग्रणी टैंटलम कार्बाइड लेपित प्लैनेटरी रोटेशन डिस्क निर्माता और प्रर्वतक है। हम कई वर्षों से सिरेमिक कोटिंग में विशेषज्ञता रखते हैं। हमारे उत्पादों में उच्च शुद्धता और उच्च तापमान प्रतिरोध है। हम आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं चीन।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर चीन में एक अग्रणी TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर निर्माता और प्रर्वतक है। हम कई वर्षों से SiC और TaC कोटिंग में विशेषज्ञता रखते हैं। हमारे TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर में उच्च तापमान प्रतिरोध और पहनने के लिए प्रतिरोधी है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।
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