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SiC एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए TaC लेपित रिंग
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SiC एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए TaC लेपित रिंग

VeTek सेमीकंडक्टर चीन में SiC एपिटैक्सियल रिएक्टर निर्माता और प्रर्वतक के लिए एक बड़े पैमाने पर TaC लेपित रिंग है। हम कई वर्षों से TaC कोटिंग में विशेष हैं। हमारे उत्पादों में उच्च शुद्धता, उच्च स्थिरता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, उच्च बंधन शक्ति है। हम देखते हैं चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर।

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उत्पाद वर्णन

SiC एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए TaC लेपित रिंग का उत्पाद परिचय

VeTek सेमीकंडक्टर चीन में स्थित एक प्रसिद्ध कंपनी है, जो उच्च गुणवत्ता वाले TaC और SiC कोटिंग्स के साथ-साथ SiC एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए उच्च शुद्धता वाले TaC कोटेड रिंग के निर्माण में अपनी विशेषज्ञता के लिए जानी जाती है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर बेहतर उत्पाद पेश करने में गर्व महसूस करते हैं। हम आपको हमसे संपर्क करने और हमारे द्वारा प्रदान किए जाने वाले असाधारण समाधानों की खोज करने के लिए हार्दिक रूप से आमंत्रित करते हैं।

SiC एपिटैक्सियल रिएक्टरों के लिए हमारे TaC कोटेड रिंग्स एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। ये छल्ले हमारे हाफमून सेट का एक अभिन्न अंग हैं, जो सब्सट्रेट समर्थन, सटीक तापमान नियंत्रण, प्रभावी गर्मी इन्सुलेशन, कुशल वेंटिलेशन और विश्वसनीय सुरक्षा जैसे आवश्यक कार्य प्रदान करते हैं। सामंजस्यपूर्ण ढंग से काम करके, ये छल्ले प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर विकसित SiC एपीटैक्सियल परत की मोटाई, डोपिंग और दोष विशेषताओं पर सावधानीपूर्वक नियंत्रण सुनिश्चित करते हैं।

हमारे असाधारण TaC कोटेड रिंग्स के अलावा, VeTek सेमीकंडक्टर विशेष रूप से प्रतिक्रिया कक्षों के लिए डिज़ाइन किए गए संबंधित उत्पादों की एक विस्तृत श्रृंखला प्रदान करता है। हमारे उत्पाद लाइनअप में ऊपरी और निचले हाफमून, सुरक्षात्मक कवर, इन्सुलेशन कवर और प्रोसेस एयर डायवर्जन इंटरफेस शामिल हैं। इनमें से प्रत्येक घटक प्रदर्शन को बढ़ाने और अपने जीवनकाल को बढ़ाने के लिए सावधानीपूर्वक SiC या TaC कोटिंग से गुजरता है।


SiC एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए TaC कोटेड रिंग का उत्पाद पैरामीटर

TaC कोटिंग के भौतिक गुण
घनत्व 14.3 (ग्राम/सेमी³)
विशिष्ट उत्सर्जन 0.3
थर्मल विस्तार गुणांक 6.3 10-6/के
कठोरता (एचके) 2000 एच.के
प्रतिरोध 1×10-5 ओम*सेमी
तापीय स्थिरता <2500℃
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है -10~-20um
परत की मोटाई ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)


वीटेक सेमीकंडक्टर प्रोडक्शन शॉप


सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन:


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