VeTek सेमीकंडक्टर चीन में एक अग्रणी टैंटलम कार्बाइड लेपित चक निर्माता और प्रर्वतक है। हम कई वर्षों से TaC कोटिंग में विशेषज्ञता प्राप्त कर रहे हैं। हमारे उत्पादों में 2000 ℃ तक उच्च शुद्धता और उच्च तापमान प्रतिरोध है। हम आपके दीर्घकालिक बनने के लिए तत्पर हैं चीन में भागीदार.
VeTek सेमीकंडक्टर प्रतिस्पर्धी मूल्य के साथ उच्च गुणवत्ता वाले टैंटलम कार्बाइड लेपित चक, SiC कोटिंग भागों की आपूर्ति करता है। हमसे पूछताछ करने के लिए आपका स्वागत है। VeTek सेमीकंडक्टर टैंटलम कार्बाइड लेपित चक, विशेष रूप से AIXTRON G10 MOCVD सिस्टम के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह सहायक उपकरण सेमीकंडक्टर निर्माण में दक्षता और गुणवत्ता को बढ़ाता है, उत्कृष्ट प्रदर्शन और विश्वसनीयता प्रदान करता है।
उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री से तैयार और सटीकता से निर्मित, चक में सीवीडी टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) के साथ लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेट होता है। यह कोटिंग उत्कृष्ट तापीय स्थिरता, उच्च शुद्धता और उच्च तापमान के प्रति प्रतिरोध प्रदान करती है। यह MOCVD प्रक्रियाओं की कठिन परिस्थितियों में विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित करता है।
चक विभिन्न अर्धचालक वेफर आकारों को समायोजित करने के लिए अनुकूलन योग्य है, जो इसे विभिन्न उत्पादन आवश्यकताओं के लिए उपयुक्त बनाता है। इसका मजबूत निर्माण वेफर कैरियर और ससेप्टर्स से जुड़े डाउनटाइम और रखरखाव लागत को कम करता है।
VeTek सेमीकंडक्टर टैंटलम कार्बाइड कोटेड चक के साथ, AIXTRON G10 MOCVD सिस्टम सेमीकंडक्टर निर्माण में उच्च दक्षता और बेहतर परिणाम प्राप्त करता है। इसकी असाधारण तापीय स्थिरता, विभिन्न वेफर आकारों के साथ अनुकूलता और विश्वसनीय प्रदर्शन इसे उत्पादन दक्षता को अनुकूलित करने और चुनौतीपूर्ण एमओसीवीडी वातावरण में उत्कृष्ट परिणाम प्राप्त करने के लिए एक आवश्यक उपकरण बनाते हैं।
TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
प्रतिरोध | 1×10-5 ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
परत की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |