VeTek सेमीकंडक्टर चीन में LPE निर्माता और प्रर्वतक के लिए एक बड़े पैमाने पर टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट है। हम कई वर्षों से TaC कोटिंग में विशेषज्ञता प्राप्त कर चुके हैं। हमारे उत्पाद 2000 डिग्री सेल्सियस से ऊपर तापमान का सामना कर सकते हैं, उपभोग्य सामग्रियों के जीवनकाल को बढ़ा सकते हैं। हम आगे देखते हैं चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए।
पेशेवर निर्माता के रूप में, वीटेक सेमीकंडक्टर आपको एलपीई के लिए उच्च गुणवत्ता वाला टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट प्रदान करना चाहता है।
VeTek सेमीकंडक्टर एक पेशेवर नेता चीन SiC, TaC कोटिंग, उच्च गुणवत्ता और उचित मूल्य के साथ ठोस SiC निर्माता है। LPE के लिए हमारे टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट का उपयोग सब्सट्रेट, तापमान नियंत्रण, गर्मी ले जाने के लिए क्षैतिज और ऊर्ध्वाधर एपिटेक्सी उपकरण के प्रतिक्रिया कक्ष में किया जाता है। संरक्षण, वेंटिलेशन, सुरक्षा और अन्य कार्य, ताकि प्रतिक्रिया कक्ष के अंदर SiC एपिटॉक्सी परत वृद्धि की मोटाई, डोपिंग, दोष और अन्य सामग्री विशेषताओं को संयुक्त रूप से नियंत्रित किया जा सके।
वीटेक सेमीकंडक्टर संबंधित उत्पाद: ऊपरी हाफमून, निचला हाफमून, सुरक्षात्मक आवरण, इन्सुलेशन कवर, प्रोसेस एयर डायवर्जन इंटरफ़ेस। हमारी कंपनी ग्राहकों को प्रतिक्रिया कक्ष SiC लेपित और TaC लेपित घटक समाधानों की पूरी श्रृंखला प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है।
TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
प्रतिरोध | 1×10-5 ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
परत की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |