VeTek सेमीकंडक्टर चीन में एक अग्रणी टैंटलम कार्बाइड कोटेड कवर निर्माता और प्रर्वतक है। हम कई वर्षों से TaC और SiC कोटिंग में विशेषज्ञता रखते हैं। हमारे उत्पादों में संक्षारण प्रतिरोध, उच्च शक्ति है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।
VeTek सेमीकंडक्टर पर चीन से टैंटलम कार्बाइड लेपित कवर का एक विशाल चयन ढूंढें। पेशेवर बिक्री के बाद सेवा और सही कीमत प्रदान करें, सहयोग की आशा है। वीटेक सेमीकंडक्टर द्वारा विकसित टैंटलम कार्बाइड कोटेड कवर एक सहायक उपकरण है जिसे विशेष रूप से AIXTRON G10 MOCVD सिस्टम के लिए डिज़ाइन किया गया है, जिसका लक्ष्य दक्षता को अनुकूलित करना और सेमीकंडक्टर विनिर्माण गुणवत्ता को बढ़ाना है। इसे उच्च गुणवत्ता वाली सामग्रियों का उपयोग करके सावधानीपूर्वक तैयार किया गया है और धातु-कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव (एमओसीवीडी) प्रक्रियाओं के लिए उत्कृष्ट प्रदर्शन और विश्वसनीयता सुनिश्चित करने के लिए अत्यधिक सटीकता के साथ निर्मित किया गया है।
रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) के साथ लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेट के साथ निर्मित, टैंटलम कार्बाइड लेपित कवर असाधारण थर्मल स्थिरता, उच्च शुद्धता और ऊंचे तापमान के प्रति प्रतिरोध प्रदान करता है। सामग्रियों का यह अनूठा संयोजन एमओसीवीडी प्रणाली की मांग वाली परिचालन स्थितियों के लिए एक विश्वसनीय समाधान प्रदान करता है।
टैंटलम कार्बाइड लेपित कवर विभिन्न अर्धचालक वेफर आकारों को समायोजित करने के लिए अनुकूलन योग्य है, जो इसे विभिन्न उत्पादन आवश्यकताओं के लिए उपयुक्त बनाता है। इसका मजबूत निर्माण विशेष रूप से चुनौतीपूर्ण एमओसीवीडी वातावरण का सामना करने, लंबे समय तक चलने वाले प्रदर्शन को सुनिश्चित करने और वेफर वाहक और रिसेप्टर्स से जुड़े डाउनटाइम और रखरखाव लागत को कम करने के लिए इंजीनियर किया गया है।
AIXTRON G10 MOCVD सिस्टम में TaC कवर को शामिल करके, सेमीकंडक्टर निर्माता उच्च दक्षता और बेहतर परिणाम प्राप्त कर सकते हैं। असाधारण थर्मल स्थिरता, विभिन्न वेफर आकारों के साथ अनुकूलता, और प्लैनेटरी डिस्क का विश्वसनीय प्रदर्शन इसे उत्पादन दक्षता को अनुकूलित करने और एमओसीवीडी प्रक्रिया में उत्कृष्ट परिणाम प्राप्त करने के लिए एक अनिवार्य उपकरण बनाता है।
TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
प्रतिरोध | 1×10-5ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
कोटिंग की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |