वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए टैंटलम कार्बाइड कोटिंग सामग्री का अग्रणी निर्माता है। हमारे मुख्य उत्पाद प्रस्तावों में सीवीडी टैंटलम कार्बाइड कोटिंग पार्ट्स, सीआईसी क्रिस्टल विकास या सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी प्रक्रिया के लिए सिंटेड टीएसी कोटिंग पार्ट्स शामिल हैं। ISO9001 पारित, VeTek सेमीकंडक्टर का गुणवत्ता पर अच्छा नियंत्रण है। वीटेक सेमीकंडक्टर पुनरावृत्त प्रौद्योगिकियों के चल रहे अनुसंधान और विकास के माध्यम से टैंटलम कार्बाइड कोटिंग उद्योग में प्रर्वतक बनने के लिए समर्पित है।
मुख्य उत्पाद हैं टैंटलम कार्बाइड कोटिंग डिफेक्टर रिंग, TaC कोटेड डायवर्जन रिंग, TaC कोटेड हाफमून पार्ट्स, टैंटलम कार्बाइड कोटेड प्लैनेटरी रोटेशन डिस्क (Aixtron G10), TaC कोटेड क्रूसिबल; TaC लेपित छल्ले; TaC लेपित झरझरा ग्रेफाइट; टैंटलम कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट सुसेप्टर; TaC लेपित गाइड रिंग; TaC टैंटलम कार्बाइड लेपित प्लेट; TaC लेपित वेफर सुसेप्टर; TaC कोटिंग रिंग; TaC कोटिंग ग्रेफाइट कवर; TaC कोटेड चंक इत्यादि, शुद्धता 5ppm से कम है, ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।
TaC कोटिंग ग्रेफाइट एक मालिकाना रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रिया द्वारा टैंटलम कार्बाइड की एक महीन परत के साथ उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट की सतह को कोटिंग करके बनाया जाता है। लाभ नीचे चित्र में दिखाया गया है:
टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग ने 3880°C तक के अपने उच्च पिघलने बिंदु, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति, कठोरता और थर्मल झटके के प्रतिरोध के कारण ध्यान आकर्षित किया है, जिससे यह उच्च तापमान आवश्यकताओं के साथ यौगिक अर्धचालक एपिटेक्सी प्रक्रियाओं का एक आकर्षक विकल्प बन गया है। जैसे ऐक्सट्रॉन एमओसीवीडी सिस्टम और एलपीई सीआईसी एपिटैक्सी प्रक्रिया। इसका पीवीटी विधि सीआईसी क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में भी व्यापक अनुप्रयोग है।
तापमान स्थिरता
अति उच्च शुद्धता
H2, NH3, SiH4,Si का प्रतिरोध
थर्मल स्टॉक का प्रतिरोध
ग्रेफाइट पर मजबूत आसंजन
अनुरूप कोटिंग कवरेज
750 मिमी व्यास तक का आकार (चीन में एकमात्र निर्माता इस आकार तक पहुंचता है)
वेफर वाहक
आगमनात्मक ताप संग्राहक
प्रतिरोधक ताप तत्व
सैटेलाइट डिस्क
शावर का फव्वारा
मार्गदर्शक अंगूठी
एलईडी एपी रिसीवर
इंजेक्शन नोजल
मास्किंग रिंग
गर्म ढाल
TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
प्रतिरोध | 1×10-5 ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
कोटिंग की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |
तत्व | परमाणु प्रतिशत | |||
पं. 1 | पं. 2 | पं. 3 | औसत | |
सी के | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
ता एम | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek सेमीकंडक्टर चीन में एक अग्रणी टैंटलम कार्बाइड कोटेड कवर निर्माता और प्रर्वतक है। हम कई वर्षों से TaC और SiC कोटिंग में विशेषज्ञता प्राप्त कर चुके हैं। हमारे उत्पादों में संक्षारण प्रतिरोध, उच्च शक्ति है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंTaC कोटेड के साथ पोरस ग्रेफाइट VeTek सेमीकंडक्टर द्वारा प्रदान की गई एक उन्नत सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण सामग्री है। TaC लेपित के साथ झरझरा ग्रेफाइट अच्छी तापीय चालकता और गैस पारगम्यता के साथ झरझरा ग्रेफाइट और टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग के फायदों को जोड़ता है। वीटेक सेमीकंडक्टर प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्तापूर्ण उत्पाद उपलब्ध कराने के लिए प्रतिबद्ध है, और हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंवीटेक सेमीकंडक्टर चीन में टैंटलम कार्बाइड कोटिंग कवर का एक अग्रणी निर्माता और प्रर्वतक है। हम उच्च शुद्धता, उच्च तापमान प्रतिरोधी टैंटलम कार्बाइड उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। हमारे टैंटलम कार्बाइड लेपित कवर में उत्कृष्ट प्रदर्शन और विश्वसनीयता है, और यह अत्यधिक उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में सामग्रियों की प्रभावी ढंग से रक्षा कर सकता है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर की TaC कोटेड डिफ्लेक्टर रिंग SiC क्रिस्टल विकास प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया एक अत्यधिक विशिष्ट घटक है। TaC कोटिंग क्रिस्टल विकास प्रक्रिया के दौरान उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण से निपटने के लिए उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता प्रदान करती है। यह घटक के स्थिर प्रदर्शन और लंबे जीवन को सुनिश्चित करता है, प्रतिस्थापन और डाउनटाइम की आवृत्ति को कम करता है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्तापूर्ण उत्पाद उपलब्ध कराने के लिए प्रतिबद्ध हैं और चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर चीन में क्रिस्टल ग्रोथ निर्माता और प्रर्वतक के लिए एक अग्रणी टैंटलम कार्बाइड लेपित ट्यूब है। हम कई वर्षों से सिरेमिक कोटिंग में विशेषज्ञता प्राप्त कर रहे हैं। हमारे उत्पादों में उच्च शुद्धता और उच्च तापमान प्रतिरोध है। हम आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं चाइना में।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर चीन में SiC एपिटैक्सियल रिएक्टर निर्माता और प्रर्वतक के लिए एक बड़े पैमाने पर TaC लेपित रिंग है। हम कई वर्षों से TaC कोटिंग में विशेष हैं। हमारे उत्पादों में उच्च शुद्धता, उच्च स्थिरता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, उच्च बंधन शक्ति है। हम देखते हैं चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर।
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