वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए टैंटलम कार्बाइड कोटिंग सामग्री का अग्रणी निर्माता है। हमारे मुख्य उत्पाद प्रस्तावों में सीवीडी टैंटलम कार्बाइड कोटिंग पार्ट्स, सीआईसी क्रिस्टल विकास या सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी प्रक्रिया के लिए सिंटेड टीएसी कोटिंग पार्ट्स शामिल हैं। ISO9001 पारित, VeTek सेमीकंडक्टर का गुणवत्ता पर अच्छा नियंत्रण है। वीटेक सेमीकंडक्टर पुनरावृत्त प्रौद्योगिकियों के चल रहे अनुसंधान और विकास के माध्यम से टैंटलम कार्बाइड कोटिंग उद्योग में प्रर्वतक बनने के लिए समर्पित है।
मुख्य उत्पाद हैं टैंटलम कार्बाइड कोटिंग डिफेक्टर रिंग, TaC कोटेड डायवर्जन रिंग, TaC कोटेड हाफमून पार्ट्स, टैंटलम कार्बाइड कोटेड प्लैनेटरी रोटेशन डिस्क (Aixtron G10), TaC कोटेड क्रूसिबल; TaC लेपित छल्ले; TaC लेपित झरझरा ग्रेफाइट; टैंटलम कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट सुसेप्टर; TaC लेपित गाइड रिंग; TaC टैंटलम कार्बाइड लेपित प्लेट; TaC लेपित वेफर सुसेप्टर; TaC कोटिंग रिंग; TaC कोटिंग ग्रेफाइट कवर; TaC कोटेड चंक इत्यादि, शुद्धता 5ppm से कम है, ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।
TaC कोटिंग ग्रेफाइट एक मालिकाना रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रिया द्वारा टैंटलम कार्बाइड की एक महीन परत के साथ उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट की सतह को कोटिंग करके बनाया जाता है। लाभ नीचे चित्र में दिखाया गया है:
टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग ने 3880°C तक के अपने उच्च पिघलने बिंदु, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति, कठोरता और थर्मल झटके के प्रतिरोध के कारण ध्यान आकर्षित किया है, जिससे यह उच्च तापमान आवश्यकताओं के साथ यौगिक अर्धचालक एपिटेक्सी प्रक्रियाओं का एक आकर्षक विकल्प बन गया है। जैसे ऐक्सट्रॉन एमओसीवीडी सिस्टम और एलपीई सीआईसी एपिटैक्सी प्रक्रिया। इसका पीवीटी विधि सीआईसी क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में भी व्यापक अनुप्रयोग है।
तापमान स्थिरता
अति उच्च शुद्धता
H2, NH3, SiH4,Si का प्रतिरोध
थर्मल स्टॉक का प्रतिरोध
ग्रेफाइट पर मजबूत आसंजन
अनुरूप कोटिंग कवरेज
750 मिमी व्यास तक का आकार (चीन में एकमात्र निर्माता इस आकार तक पहुंचता है)
वेफर वाहक
आगमनात्मक ताप संग्राहक
प्रतिरोधक ताप तत्व
सैटेलाइट डिस्क
शावर का फव्वारा
मार्गदर्शन मंडल
एलईडी एपी रिसीवर
इंजेक्शन नोजल
मास्किंग रिंग
गर्म ढाल
TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
प्रतिरोध | 1×10-5 ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
परत की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |
तत्व | परमाणु प्रतिशत | |||
पं. 1 | पं. 2 | पं. 3 | औसत | |
सी के | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
ता एम | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek सेमीकंडक्टर'TaC कोटिंग प्लैनेटरी ससेप्टर ऐक्सट्रॉन एपिटेक्सी उपकरण के लिए एक असाधारण उत्पाद है। मजबूत TaC कोटिंग उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता प्रदान करती है। यह अनूठा संयोजन कठिन वातावरण में भी विश्वसनीय प्रदर्शन और लंबी सेवा जीवन सुनिश्चित करता है। VeTek उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद उपलब्ध कराने और प्रतिस्पर्धी मूल्य निर्धारण के साथ चीनी बाजार में दीर्घकालिक भागीदार के रूप में सेवा करने के लिए प्रतिबद्ध है।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर की TaC कोटिंग पेडस्टल सपोर्ट प्लेट एक उच्च परिशुद्धता वाला उत्पाद है जिसे सेमीकंडक्टर एपिटॉक्सी प्रक्रियाओं की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। अपनी TaC कोटिंग, उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता के साथ, हमारा उत्पाद आपको उच्च गुणवत्ता वाली EPI परतें बनाने में सक्षम बनाता है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्तापूर्ण उत्पाद उपलब्ध कराने के लिए प्रतिबद्ध हैं और चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
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और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग्स और SiC कोटिंग ग्रेफाइट भागों का एक प्रमुख आपूर्तिकर्ता है। हम अत्याधुनिक एलईडी ईपीआई ससेप्टर्स के उत्पादन में विशेषज्ञ हैं, जो एलईडी एपिटैक्सी प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक हैं। नवाचार और गुणवत्ता पर विशेष ध्यान देने के साथ, हम विश्वसनीय समाधान प्रदान करते हैं जो एलईडी उद्योग की कठोर आवश्यकताओं को पूरा करते हैं। अपनी पूछताछ पर चर्चा करने और यह जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें कि हमारे उत्पाद आपकी विनिर्माण प्रक्रियाओं को कैसे बढ़ा सकते हैं।
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