रैपिड थर्मल एनीलिंग ससेप्टर

वीटेक सेमीकंडक्टर रैपिड थर्मल एनीलिंग ससेप्टर उच्च गुणवत्ता और लंबे जीवनकाल के साथ है, हमसे पूछताछ करने के लिए आपका स्वागत है।

रैपिड थर्मल एनील (आरटीए) सेमीकंडक्टर डिवाइस निर्माण में उपयोग किए जाने वाले रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग का एक महत्वपूर्ण उपसमुच्चय है। इसमें विभिन्न लक्षित ताप उपचारों के माध्यम से उनके विद्युत गुणों को संशोधित करने के लिए व्यक्तिगत वेफर्स को गर्म करना शामिल है। आरटीए प्रक्रिया डोपेंट की सक्रियता, फिल्म-टू-फिल्म या फिल्म-टू-वेफर सब्सट्रेट इंटरफेस में बदलाव, जमा फिल्मों का घनत्व, विकसित फिल्म राज्यों में संशोधन, आयन आरोपण क्षति की मरम्मत, डोपेंट आंदोलन और फिल्मों के बीच डोपेंट ड्राइविंग को सक्षम बनाती है। या वेफर सब्सट्रेट में.

वीटेक सेमीकंडक्टर उत्पाद, रैपिड थर्मल एनीलिंग ससेप्टर, आरटीपी प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। इसका निर्माण अक्रिय सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) की सुरक्षात्मक कोटिंग के साथ उच्च शुद्धता वाली ग्रेफाइट सामग्री का उपयोग करके किया गया है। SiC-लेपित सिलिकॉन सब्सट्रेट 1100°C तक तापमान का सामना कर सकता है, जिससे अत्यधिक परिस्थितियों में भी विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित होता है। SiC कोटिंग गैस रिसाव और कण गिरने के खिलाफ उत्कृष्ट सुरक्षा प्रदान करती है, जिससे उत्पाद की लंबी उम्र सुनिश्चित होती है।

सटीक तापमान नियंत्रण बनाए रखने के लिए, चिप को SiC से लेपित दो उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट घटकों के बीच संपुटित किया जाता है। सब्सट्रेट के संपर्क में एकीकृत उच्च तापमान सेंसर या थर्मोकपल के माध्यम से सटीक तापमान माप प्राप्त किया जा सकता है।

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

वीटेक सेमीकंडक्टर प्रोडक्शन शॉप

सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन: