TaC कोटिंग चक

VeTek सेमीकंडक्टर का TaC कोटिंग चक SiC EPI प्रक्रिया में असाधारण परिणाम प्राप्त करने के लिए आदर्श समाधान है। अपनी TaC कोटिंग, उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता के साथ, हमारा उत्पाद आपको सटीकता और विश्वसनीयता के साथ उच्च गुणवत्ता वाले क्रिस्टल का उत्पादन करने में सक्षम बनाता है। हमसे पूछताछ करने के लिए आपका स्वागत है।

TaC (टैंटलम कार्बाइड) एक ऐसी सामग्री है जिसका उपयोग आमतौर पर एपिटैक्सियल उपकरण के आंतरिक भागों की सतह को कोट करने के लिए किया जाता है। इसकी निम्नलिखित विशेषताएं हैं:

उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध: TaC कोटिंग्स 2200°C तक तापमान का सामना कर सकती हैं, जो उन्हें एपिटैक्सियल प्रतिक्रिया कक्षों जैसे उच्च तापमान वातावरण में अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाती है।

उच्च कठोरता: TaC की कठोरता लगभग 3000-4000 HV तक पहुँच जाती है, जो आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले स्टेनलेस स्टील या एल्यूमीनियम मिश्र धातु की तुलना में बहुत कठिन है, जो सतह के घिसाव को प्रभावी ढंग से रोक सकती है।

मजबूत रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंग रासायनिक रूप से संक्षारक वातावरण में अच्छा प्रदर्शन करती है और एपिटैक्सियल उपकरण घटकों की सेवा जीवन को काफी बढ़ा सकती है।

अच्छी विद्युत चालकता: TaC कोटिंग में अच्छी विद्युत चालकता होती है, जो इलेक्ट्रोस्टैटिक रिलीज़ और ताप संचालन के लिए अनुकूल होती है।

ये गुण TaC कोटिंग को आंतरिक झाड़ियों, प्रतिक्रिया कक्ष की दीवारों और एपिटैक्सियल उपकरणों के लिए हीटिंग तत्वों जैसे महत्वपूर्ण भागों के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं। इन घटकों को TaC के साथ कोटिंग करके, एपिटैक्सियल उपकरण के समग्र प्रदर्शन और सेवा जीवन में सुधार किया जा सकता है।

सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी के लिए, TaC कोटिंग हिस्सा भी एक महत्वपूर्ण भूमिका निभा सकता है। TaC कोटिंग की सतह चिकनी और घनी है, जो उच्च गुणवत्ता वाली सिलिकॉन कार्बाइड फिल्मों के निर्माण के लिए अनुकूल है। साथ ही, TaC की उत्कृष्ट तापीय चालकता उपकरण के अंदर तापमान वितरण की एकरूपता में सुधार करने में मदद कर सकती है, जिससे एपिटैक्सियल प्रक्रिया की तापमान नियंत्रण सटीकता में सुधार होता है, और अंततः उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल परत विकास प्राप्त होता है।

TaC कोटिंग चंक का उत्पाद पैरामीटर:

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