VeTek सेमीकंडक्टर के TaC कोटिंग चक में एक उच्च गुणवत्ता वाली TaC कोटिंग है, जो अपने उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता के लिए जाना जाता है, विशेष रूप से सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) एपिटैक्सी (EPI) प्रक्रियाओं में। अपनी असाधारण विशेषताओं और बेहतर प्रदर्शन के साथ, हमारा TaC कोटिंग चक कई प्रमुख लाभ प्रदान करता है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्तापूर्ण उत्पाद उपलब्ध कराने के लिए प्रतिबद्ध हैं और चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
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TaC (टैंटलम कार्बाइड) एक ऐसी सामग्री है जिसका उपयोग आमतौर पर एपिटैक्सियल उपकरण के आंतरिक भागों की सतह को कोट करने के लिए किया जाता है। इसकी निम्नलिखित विशेषताएं हैं:
उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध: TaC कोटिंग्स 2200°C तक तापमान का सामना कर सकती हैं, जो उन्हें एपिटैक्सियल प्रतिक्रिया कक्षों जैसे उच्च तापमान वातावरण में अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाती है।
उच्च कठोरता: TaC की कठोरता लगभग 3000-4000 HV तक पहुँच जाती है, जो आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले स्टेनलेस स्टील या एल्यूमीनियम मिश्र धातु की तुलना में बहुत कठिन है, जो सतह के घिसाव को प्रभावी ढंग से रोक सकती है।
मजबूत रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंग रासायनिक रूप से संक्षारक वातावरण में अच्छा प्रदर्शन करती है और एपिटैक्सियल उपकरण घटकों की सेवा जीवन को काफी बढ़ा सकती है।
अच्छी विद्युत चालकता: TaC कोटिंग में अच्छी विद्युत चालकता होती है, जो इलेक्ट्रोस्टैटिक रिलीज़ और ताप संचालन के लिए अनुकूल होती है।
ये गुण TaC कोटिंग को आंतरिक झाड़ियों, प्रतिक्रिया कक्ष की दीवारों और एपिटैक्सियल उपकरणों के लिए हीटिंग तत्वों जैसे महत्वपूर्ण भागों के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं। इन घटकों को TaC के साथ कोटिंग करके, एपिटैक्सियल उपकरण के समग्र प्रदर्शन और सेवा जीवन में सुधार किया जा सकता है।
सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी के लिए, TaC कोटिंग हिस्सा भी एक महत्वपूर्ण भूमिका निभा सकता है। TaC कोटिंग की सतह चिकनी और घनी है, जो उच्च गुणवत्ता वाली सिलिकॉन कार्बाइड फिल्मों के निर्माण के लिए अनुकूल है। साथ ही, TaC की उत्कृष्ट तापीय चालकता उपकरण के अंदर तापमान वितरण की एकरूपता में सुधार करने में मदद कर सकती है, जिससे एपिटैक्सियल प्रक्रिया की तापमान नियंत्रण सटीकता में सुधार होता है, और अंततः उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल परत विकास प्राप्त होता है।
TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
प्रतिरोध | 1×10-5 ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
परत की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |