वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए टैंटलम कार्बाइड कोटिंग सामग्री का अग्रणी निर्माता है। हमारे मुख्य उत्पाद प्रस्तावों में सीवीडी टैंटलम कार्बाइड कोटिंग पार्ट्स, सीआईसी क्रिस्टल विकास या सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी प्रक्रिया के लिए सिंटेड टीएसी कोटिंग पार्ट्स शामिल हैं। ISO9001 पारित, VeTek सेमीकंडक्टर का गुणवत्ता पर अच्छा नियंत्रण है। वीटेक सेमीकंडक्टर पुनरावृत्त प्रौद्योगिकियों के चल रहे अनुसंधान और विकास के माध्यम से टैंटलम कार्बाइड कोटिंग उद्योग में प्रर्वतक बनने के लिए समर्पित है।
मुख्य उत्पाद हैंटैंटलम कार्बाइड कोटिंग डिफेक्टर रिंग, TaC कोटेड डायवर्जन रिंग, TaC कोटेड हाफमून पार्ट्स, टैंटलम कार्बाइड कोटेड प्लैनेटरी रोटेशन डिस्क (Aixtron G10), TaC कोटेड क्रूसिबल; TaC लेपित छल्ले; TaC लेपित झरझरा ग्रेफाइट; टैंटलम कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट सुसेप्टर; TaC लेपित गाइड रिंग; TaC टैंटलम कार्बाइड लेपित प्लेट; TaC लेपित वेफर सुसेप्टर; TaC कोटिंग रिंग; TaC कोटिंग ग्रेफाइट कवर; TaC लेपित हिस्साआदि, शुद्धता 5ppm से कम है, ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।
TaC कोटिंग ग्रेफाइट एक मालिकाना रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रिया द्वारा टैंटलम कार्बाइड की एक महीन परत के साथ उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट की सतह को कोटिंग करके बनाया जाता है। लाभ नीचे चित्र में दिखाया गया है:
टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग ने 3880°C तक के अपने उच्च गलनांक, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति, कठोरता और थर्मल झटके के प्रतिरोध के कारण ध्यान आकर्षित किया है, जिससे यह उच्च तापमान आवश्यकताओं के साथ यौगिक अर्धचालक एपिटेक्सी प्रक्रियाओं का एक आकर्षक विकल्प बन गया है। जैसे ऐक्सट्रॉन एमओसीवीडी सिस्टम और एलपीई सीआईसी एपिटैक्सी प्रक्रिया। इसका पीवीटी विधि सीआईसी क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में भी व्यापक अनुप्रयोग है।
●तापमान स्थिरता
●अति उच्च शुद्धता
●H2, NH3, SiH4,Si का प्रतिरोध
●थर्मल स्टॉक का प्रतिरोध
●ग्रेफाइट पर मजबूत आसंजन
●अनुरूप कोटिंग कवरेज
● 750 मिमी व्यास तक का आकार (चीन में एकमात्र निर्माता इस आकार तक पहुंचता है)
● आगमनात्मक ताप संग्राहक
● प्रतिरोधक ताप तत्व
● हीट शील्ड
TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
प्रतिरोध | 1×10-5ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
कोटिंग की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |
तत्व | परमाणु प्रतिशत | |||
पं. 1 | पं. 2 | पं. 3 | औसत | |
सी के | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
उन्हें | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek सेमीकंडक्टर चीन में TaC कोटिंग प्लेट और अन्य TaC कोटिंग स्पेयर पार्ट्स का एक पेशेवर निर्माता है। TaC कोटिंग का उपयोग वर्तमान में मुख्य रूप से सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ (PVT विधि), एपिटैक्सियल डिस्क (सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी, LED एपिटैक्सी सहित) आदि प्रक्रियाओं में किया जाता है। TaC कोटिंग प्लेट, VeTek सेमीकंडक्टर TaC की अच्छी दीर्घकालिक स्थिरता के साथ संयुक्त कोटिंग प्लेट TaC कोटिंग स्पेयर पार्ट्स के लिए बेंचमार्क बन गई है। हम आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा करते हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर चीन में SiC एपि ससेप्टर, CVD SiC कोटिंग और CVD TAC कोटिंग ग्रेफाइट ससेप्टर पर GaN का एक पेशेवर निर्माता है। उनमें से, SiC एपि ससेप्टर पर GaN सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। अपनी उत्कृष्ट तापीय चालकता, उच्च तापमान प्रसंस्करण क्षमता और रासायनिक स्थिरता के माध्यम से, यह GaN एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया की उच्च दक्षता और सामग्री गुणवत्ता सुनिश्चित करता है। हम ईमानदारी से आपके आगे के परामर्श की प्रतीक्षा कर रहे हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर का CVD TaC कोटिंग कैरियर मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण की एपिटैक्सियल प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है। सीवीडी टीएसी कोटिंग वाहक का अल्ट्रा-उच्च पिघलने बिंदु, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल प्रक्रिया में इस उत्पाद की अपरिहार्यता निर्धारित करती है। हम ईमानदारी से आपके साथ दीर्घकालिक व्यापार संबंध बनाने की उम्मीद करते हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर की TaC कोटिंग गाइड रिंग को रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) नामक अत्यधिक उन्नत तकनीक का उपयोग करके ग्रेफाइट भागों पर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग लगाकर बनाया गया है। यह विधि अच्छी तरह से स्थापित है और असाधारण कोटिंग गुण प्रदान करती है। TaC कोटिंग गाइड रिंग का उपयोग करके, ग्रेफाइट घटकों का जीवनकाल काफी बढ़ाया जा सकता है, ग्रेफाइट अशुद्धियों की गति को दबाया जा सकता है, और SiC और AIN एकल क्रिस्टल गुणवत्ता को विश्वसनीय रूप से बनाए रखा जा सकता है। हमसे पूछताछ करने के लिए आपका स्वागत है।
और पढ़ेंजांच भेजेंवीटेक सेमीकंडक्टर का टीएसी कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर ग्रेफाइट भागों की सतह पर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग तैयार करने के लिए रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) विधि का उपयोग करता है। यह प्रक्रिया सबसे परिपक्व है और इसमें सर्वोत्तम कोटिंग गुण हैं। TaC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर ग्रेफाइट घटकों की सेवा जीवन को बढ़ा सकता है, ग्रेफाइट अशुद्धियों के प्रवास को रोक सकता है और एपिटेक्सी की गुणवत्ता सुनिश्चित कर सकता है। वीटेक सेमीकंडक्टर आपकी पूछताछ का इंतजार कर रहा है।
और पढ़ेंजांच भेजेंVeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग ससेप्टर प्रस्तुत करता है, अपनी असाधारण TaC कोटिंग के साथ, यह ससेप्टर कई फायदे प्रदान करता है जो इसे पारंपरिक समाधानों से अलग करता है। मौजूदा सिस्टम में निर्बाध रूप से एकीकृत करते हुए, VeTek सेमीकंडक्टर का TaC कोटिंग ससेप्टर अनुकूलता और कुशल संचालन की गारंटी देता है। इसका विश्वसनीय प्रदर्शन और उच्च गुणवत्ता वाली TaC कोटिंग लगातार SiC एपिटैक्सी प्रक्रियाओं में असाधारण परिणाम प्रदान करती है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्ता वाले उत्पाद उपलब्ध कराने के लिए प्रतिबद्ध हैं और चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
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