VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग ससेप्टर प्रस्तुत करता है, अपनी असाधारण TaC कोटिंग के साथ, यह ससेप्टर कई फायदे प्रदान करता है जो इसे पारंपरिक समाधानों से अलग करता है। मौजूदा सिस्टम में निर्बाध रूप से एकीकृत करते हुए, VeTek सेमीकंडक्टर का TaC कोटिंग ससेप्टर अनुकूलता और कुशल संचालन की गारंटी देता है। इसका विश्वसनीय प्रदर्शन और उच्च गुणवत्ता वाली TaC कोटिंग लगातार SiC एपिटैक्सी प्रक्रियाओं में असाधारण परिणाम प्रदान करती है। हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्ता वाले उत्पाद उपलब्ध कराने के लिए प्रतिबद्ध हैं और चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
VeTek सेमीकंडक्टर का TaC लेपित ससेप्टर और रिंग LPE सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल ग्रोथ रिएक्टर में एक साथ काम करते हैं:
उच्च तापमान प्रतिरोध: TaC कोटिंग ससेप्टर में उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध होता है, जो LPE रिएक्टर में 1500°C तक के अत्यधिक तापमान का सामना करने में सक्षम होता है। यह सुनिश्चित करता है कि उपकरण और घटक लंबे समय तक संचालन के दौरान ख़राब न हों या क्षतिग्रस्त न हों।
रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंग ससेप्टर संक्षारक सिलिकॉन कार्बाइड विकास वातावरण में असाधारण रूप से अच्छा प्रदर्शन करता है, रिएक्टर घटकों को संक्षारक रासायनिक हमले से प्रभावी ढंग से बचाता है, जिससे उनकी सेवा जीवन बढ़ जाता है।
थर्मल स्थिरता: TaC कोटिंग ससेप्टर में अच्छी थर्मल स्थिरता होती है, जो रिएक्टर में तापमान क्षेत्र की एकरूपता सुनिश्चित करने के लिए सतह की आकृति विज्ञान और खुरदरापन को बनाए रखती है, जो सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल परतों की उच्च गुणवत्ता वाली वृद्धि के लिए फायदेमंद है।
संदूषण-विरोधी: चिकनी TaC लेपित सतह और बेहतर TPD (तापमान क्रमादेशित विशोषण) प्रदर्शन रिएक्टर के अंदर कणों और अशुद्धियों के संचय और सोखना को कम कर सकता है, जिससे एपिटैक्सियल परतों के संदूषण को रोका जा सकता है।
संक्षेप में, टीएसी लेपित रिसेप्टर और रिंग एलपीई सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल ग्रोथ रिएक्टर में एक महत्वपूर्ण सुरक्षात्मक भूमिका निभाते हैं, जो उपकरण के दीर्घकालिक स्थिर संचालन और एपिटैक्सियल परतों की उच्च गुणवत्ता वाली वृद्धि सुनिश्चित करते हैं।
TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
प्रतिरोध | 1×10-5 ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
परत की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |