TaC कोटिंग सुसेप्टर

VeTek सेमीकंडक्टर का TaC लेपित ससेप्टर और रिंग LPE सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल ग्रोथ रिएक्टर में एक साथ काम करते हैं:

उच्च तापमान प्रतिरोध: TaC कोटिंग ससेप्टर में उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध होता है, जो LPE रिएक्टर में 1500°C तक के अत्यधिक तापमान का सामना करने में सक्षम होता है। यह सुनिश्चित करता है कि उपकरण और घटक लंबे समय तक संचालन के दौरान ख़राब न हों या क्षतिग्रस्त न हों।

रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंग ससेप्टर संक्षारक सिलिकॉन कार्बाइड विकास वातावरण में असाधारण रूप से अच्छा प्रदर्शन करता है, रिएक्टर घटकों को संक्षारक रासायनिक हमले से प्रभावी ढंग से बचाता है, जिससे उनकी सेवा जीवन बढ़ जाता है।

थर्मल स्थिरता: TaC कोटिंग ससेप्टर में अच्छी थर्मल स्थिरता होती है, जो रिएक्टर में तापमान क्षेत्र की एकरूपता सुनिश्चित करने के लिए सतह की आकृति विज्ञान और खुरदरापन को बनाए रखती है, जो सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल परतों की उच्च गुणवत्ता वाली वृद्धि के लिए फायदेमंद है।

संदूषण-विरोधी: चिकनी TaC लेपित सतह और बेहतर TPD (तापमान क्रमादेशित विशोषण) प्रदर्शन रिएक्टर के अंदर कणों और अशुद्धियों के संचय और सोखना को कम कर सकता है, जिससे एपिटैक्सियल परतों के संदूषण को रोका जा सकता है।

संक्षेप में, टीएसी लेपित रिसेप्टर और रिंग एलपीई सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल ग्रोथ रिएक्टर में एक महत्वपूर्ण सुरक्षात्मक भूमिका निभाते हैं, जो उपकरण के दीर्घकालिक स्थिर संचालन और एपिटैक्सियल परतों की उच्च गुणवत्ता वाली वृद्धि सुनिश्चित करते हैं।

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