TaC कोटिंग प्लैनेटरी ससेप्टर

VeTek सेमीकंडक्टर'TaC कोटिंग प्लैनेटरी ससेप्टर ऐक्सट्रॉन एपिटेक्सी उपकरण के लिए एक असाधारण उत्पाद है। मजबूत TaC कोटिंग उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक जड़ता प्रदान करती है। यह अनूठा संयोजन कठिन वातावरण में भी विश्वसनीय प्रदर्शन और लंबी सेवा जीवन सुनिश्चित करता है। VeTek उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद उपलब्ध कराने और प्रतिस्पर्धी मूल्य निर्धारण के साथ चीनी बाजार में दीर्घकालिक भागीदार के रूप में सेवा करने के लिए प्रतिबद्ध है।

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उत्पाद वर्णन

सेमीकंडक्टर निर्माण के क्षेत्र में, TaC कोटिंग प्लैनेटरी ससेप्टर एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। इसका व्यापक रूप से Aixtron G5 सिस्टम जैसे उपकरणों में सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) एपिटैक्सियल परतों के विकास में उपयोग किया जाता है। इसके अलावा, जब SiC एपीटाक्सी के लिए टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग जमाव में बाहरी डिस्क के रूप में उपयोग किया जाता है, तो TaC कोटिंग प्लैनेटरी ससेप्टर आवश्यक समर्थन और स्थिरता प्रदान करता है। यह टैंटलम कार्बाइड परत का एक समान जमाव सुनिश्चित करता है, जो उत्कृष्ट सतह आकारिकी और वांछित फिल्म मोटाई के साथ उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल परतों के निर्माण में योगदान देता है। TaC कोटिंग की रासायनिक जड़ता अवांछित प्रतिक्रियाओं और संदूषण को रोकती है, एपिटैक्सियल परतों की अखंडता को बनाए रखती है और उनकी बेहतर गुणवत्ता सुनिश्चित करती है।

TaC कोटिंग की असाधारण थर्मल चालकता कुशल गर्मी हस्तांतरण को सक्षम बनाती है, समान तापमान वितरण को बढ़ावा देती है और एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया के दौरान थर्मल तनाव को कम करती है। इसके परिणामस्वरूप बेहतर क्रिस्टलोग्राफिक गुणों और बढ़ी हुई विद्युत चालकता के साथ उच्च गुणवत्ता वाले SiC एपीटैक्सियल परतों का उत्पादन होता है।

TaC कोटिंग प्लैनेटरी डिस्क के सटीक आयाम और मजबूत निर्माण मौजूदा सिस्टम में एकीकृत करना आसान बनाते हैं, जिससे निर्बाध अनुकूलता और कुशल संचालन सुनिश्चित होता है। इसका विश्वसनीय प्रदर्शन और उच्च गुणवत्ता वाली TaC कोटिंग SiC एपिटॉक्सी प्रक्रियाओं में सुसंगत और समान परिणाम में योगदान करती है।

SiC एपिटैक्सी में असाधारण प्रदर्शन और विश्वसनीयता के लिए VeTek सेमीकंडक्टर और हमारी TaC कोटिंग प्लैनेटरी डिस्क पर भरोसा करें। सेमीकंडक्टर उद्योग में तकनीकी प्रगति में आपको सबसे आगे रखते हुए, हमारे नवोन्मेषी समाधानों के लाभों का अनुभव करें।

TaC कोटिंग और SiC कोटिंग स्पेयर पार्ट्स की हम आपूर्ति करते हैं:

TaC कोटिंग प्लैनेटरी ससेप्टर का उत्पाद पैरामीटर:

TaC कोटिंग के भौतिक गुण
घनत्व	14.3 (ग्राम/सेमी³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	6.3 10-6/के
कठोरता (एचके)	2000 एच.के
प्रतिरोध	1×10-5 ओम*सेमी
तापीय स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है	-10~-20um
परत की मोटाई	≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)