TaC कोटिंग पेडस्टल सपोर्ट प्लेट

VeTek सेमीकंडक्टर चीन का निर्माता और आपूर्तिकर्ता है जो कई वर्षों के अनुभव के साथ मुख्य रूप से CVD TaC कोटिंग ससेप्टर्स, इनलेट रिंग, वेफर चंक, TaC कोटेड होल्डर, TaC कोटिंग पेडस्टल सपोर्ट प्लेट का उत्पादन करता है। आशा है कि आपके साथ व्यापारिक संबंध बनेंगे।

TaC सिरेमिक का गलनांक 3880℃ तक, उच्च कठोरता (Mohs कठोरता 9 ~ 10), बड़ी तापीय चालकता (22W·m-1·K−1), बड़ी झुकने की ताकत (340 ~ 400MPa), और छोटा तापीय विस्तार होता है। गुणांक (6.6×10−6K−1), और उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता और उत्कृष्ट भौतिक गुण दिखाते हैं। इसमें ग्रेफाइट और सी/सी मिश्रित सामग्रियों के साथ अच्छी रासायनिक और यांत्रिक संगतता है, इसलिए टीएसी कोटिंग का व्यापक रूप से एयरोस्पेस थर्मल संरक्षण, एकल क्रिस्टल विकास और सेमीकंडक्टर उद्योग में एक्सट्रॉन, एलपीई ईपीआई रिएक्टर जैसे एपिटैक्सियल रिएक्टरों में उपयोग किया जाता है। TaC लेपित ग्रेफाइट में नंगे पत्थर की स्याही या SiC लेपित ग्रेफाइट की तुलना में बेहतर रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध होता है, इसे 2200° उच्च तापमान पर स्थिर रूप से उपयोग किया जा सकता है, कई धातु तत्वों के साथ प्रतिक्रिया नहीं करता है, सेमीकंडक्टर एकल क्रिस्टल विकास, एपिटेक्सी और वेफर नक़्क़ाशी दृश्य की तीसरी पीढ़ी है सर्वोत्तम प्रदर्शन कोटिंग, तापमान और अशुद्धता नियंत्रण की प्रक्रिया में काफी सुधार कर सकती है, उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन कार्बाइड वेफर्स और संबंधित एपिटैक्सियल वेफर्स की तैयारी। यह एमओसीवीडी उपकरण में GaN या AlN सिंगल क्रिस्टल और PVT उपकरण में SiC सिंगल क्रिस्टल उगाने के लिए विशेष रूप से उपयुक्त है, और उगाए गए सिंगल क्रिस्टल की गुणवत्ता में स्पष्ट रूप से सुधार हुआ है।

TaC कोटिंग और SiC कोटिंग स्पेयर पार्ट्स हम कर सकते हैं:

TaC कोटिंग का पैरामीटर:

औद्योगिक श्रृंखला:

उत्पादन की दुकान