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TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर कैरियर
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TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर कैरियर

VeTek सेमीकंडक्टर चीन में एक अग्रणी TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर निर्माता और प्रर्वतक है। हम कई वर्षों से SiC और TaC कोटिंग में विशेषज्ञता रखते हैं। हमारे TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर में उच्च तापमान प्रतिरोध और पहनने के लिए प्रतिरोधी है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

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उत्पाद वर्णन

आप VeTek सेमीकंडक्टर से अनुकूलित TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर खरीदने के लिए निश्चिंत हो सकते हैं। हम आपके साथ सहयोग करने के लिए तत्पर हैं, यदि आप अधिक जानना चाहते हैं, तो आप अभी हमसे परामर्श कर सकते हैं, हम आपको समय पर जवाब देंगे!

VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर एपिटैक्सी रिएक्टर में वेफर्स के साथ सीधे संपर्क करता है, जिससे दक्षता और प्रदर्शन बढ़ता है। सिलिकॉन कार्बाइड या टैंटलम कार्बाइड कोटिंग के विकल्प के साथ, वीटेक सेमीकंडक्टर टीएसी कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर टैंटलम कार्बाइड के साथ 2-3 गुना तक विस्तारित जीवनकाल प्रदान करता है। LPE SiC एपीटैक्सिअल फर्नेस, JSG, NASO एपीटैक्सियल फर्नेस सहित विभिन्न मशीन मॉडल के साथ संगत।

VeTek सेमीकंडक्टर TaC-लेपित ग्रेफाइट कैरियर सटीक प्रतिक्रिया स्टोइकोमेट्री सुनिश्चित करता है, अशुद्धता प्रवास को रोकता है, और 2000 डिग्री सेल्सियस से अधिक तापमान स्थिरता बनाए रखता है। यह कठोर रासायनिक वातावरण से सुरक्षा प्रदान करते हुए H2, NH3, SiH4 और Si के प्रति उल्लेखनीय प्रतिरोध प्रदर्शित करता है। थर्मल झटकों को झेलते हुए, यह कोटिंग प्रदूषण के बिना तेजी से परिचालन चक्र को सक्षम बनाता है।

VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग अति-उच्च शुद्धता की गारंटी देती है, अशुद्धियों को समाप्त करती है, और कड़े आयामी सहनशीलता को पूरा करते हुए अनुरूप कवरेज सुनिश्चित करती है। वीटेक सेमीकंडक्टर की उन्नत ग्रेफाइट प्रसंस्करण क्षमताओं के साथ, हम आपकी अनुकूलन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सुसज्जित हैं। चाहे आपको कोटिंग सेवाओं या व्यापक समाधानों की आवश्यकता हो, विशेषज्ञ इंजीनियरों की हमारी टीम आपके विशिष्ट अनुप्रयोगों के लिए सही समाधान डिजाइन करने के लिए तैयार है। अपनी आवश्यकताओं और अपेक्षाओं के अनुरूप उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद प्रदान करने के लिए हम पर भरोसा करें।


पीवीटी विधि सीआईसी क्रिस्टल ग्रोथ


TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर का उत्पाद पैरामीटर

TaC कोटिंग के भौतिक गुण
घनत्व 14.3 (ग्राम/सेमी³)
विशिष्ट उत्सर्जन 0.3
थर्मल विस्तार गुणांक 6.3 10-6/के
कठोरता (एचके) 2000 एच.के
प्रतिरोध 1×10-5 ओम*सेमी
तापीय स्थिरता <2500℃
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है -10~-20um
परत की मोटाई ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)


वीटेक सेमीकंडक्टर प्रोडक्शन शॉप


सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन:


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