टैंटलम कार्बाइड कोटिंग समर्थन

VeTek सेमीकंडक्टर का मुख्य कार्यटैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगसमर्थन में सुधार करना हैगर्मी प्रतिरोध, पहनने के प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोधटैंटलम कार्बाइड कोटिंग की एक परत कोटिंग करके सब्सट्रेट की, ताकि प्रक्रिया की सटीकता और विश्वसनीयता में सुधार हो सके और घटकों की सेवा जीवन का विस्तार हो सके। यह एक उच्च-प्रदर्शन कोटिंग उत्पाद है जिसका उपयोग सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के क्षेत्र में किया जाता है।

वीटेक सेमीकंडक्टर के टैंटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्ट की मोह कठोरता लगभग 9~10 है, जो हीरे के बाद दूसरे स्थान पर है। इसमें बेहद मजबूत पहनने का प्रतिरोध है और यह प्रसंस्करण के दौरान सतह के पहनने और प्रभाव का प्रभावी ढंग से विरोध कर सकता है, जिससे उपकरण घटकों की सेवा जीवन प्रभावी ढंग से बढ़ जाता है। लगभग 3880 डिग्री सेल्सियस के अपने उच्च पिघलने बिंदु के साथ, इसका उपयोग अक्सर अर्धचालक उपकरण के प्रमुख घटकों को कोटिंग करने के लिए किया जाता है, जैसे कि समर्थन संरचनाओं की सतह कोटिंग, गर्मी उपचार उपकरण, अर्धचालक उपकरण में कक्ष या गैसकेट ताकि इसके पहनने के प्रतिरोध और उच्च तापमान को बढ़ाया जा सके। प्रतिरोध।

टैंटलम कार्बाइड के लगभग 3880°C के अत्यंत उच्च गलनांक के कारण, अर्धचालक प्रसंस्करण प्रक्रियाओं में जैसेरासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी)औरभौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी), मजबूत उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध के साथ TaC कोटिंग प्रभावी ढंग से उपकरण घटकों की रक्षा कर सकती है और अत्यधिक वातावरण में सब्सट्रेट को जंग या क्षति से बचा सकती है, जो वेफर विनिर्माण में उच्च तापमान वातावरण के लिए प्रभावी सुरक्षा प्रदान करती है। यह सुविधा यह भी निर्धारित करती है कि वीटेक सेमीकंडक्टर के टैंटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्ट का उपयोग अक्सर नक़्क़ाशी और संक्षारक प्रक्रियाओं में किया जाता है।

टैंटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्ट में कण संदूषण को कम करने का कार्य भी है। वेफर प्रसंस्करण के दौरान, सतह के घिसाव से आमतौर पर कण संदूषण पैदा होता है, जो वेफर के उत्पाद की गुणवत्ता को प्रभावित करता है। TaC कोटिंग की लगभग 9-10 मोह कठोरता की चरम उत्पाद विशेषताएँ इस घिसाव को प्रभावी ढंग से कम कर सकती हैं, जिससे कणों की उत्पत्ति कम हो सकती है। TaC कोटिंग की उत्कृष्ट तापीय चालकता (लगभग 21 W/m·K) के साथ संयुक्त, यह उच्च तापमान स्थितियों के तहत अच्छी तापीय चालकता बनाए रख सकता है, जिससे वेफर निर्माण की उपज और स्थिरता में काफी सुधार होता है।

VeTek सेमीकंडक्टर के मुख्य TaC कोटिंग उत्पादों में शामिल हैंTaC कोटिंग हीटर, सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल, TaC कोटिंग रोटेशन सुसेप्टरऔरTaC कोटिंग स्पेयर पार्ट, आदि, और अनुकूलित उत्पाद सेवाओं का समर्थन करते हैं। वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए उत्कृष्ट उत्पाद और तकनीकी समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। हम ईमानदारी से चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा करते हैं।

सूक्ष्म क्रॉस-सेक्शन पर टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग:

सीवीडी टीएसी कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण：