सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर CVD और MBE जैसी उच्च तापमान जमाव प्रक्रियाओं में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, और सेमीकंडक्टर निर्माण में वेफर प्रसंस्करण के लिए एक महत्वपूर्ण घटक है। उनमें से,टीएसी कोटिंगइसमें उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता है, जो वेफर प्रसंस्करण के दौरान उच्च परिशुद्धता और उच्च गुणवत्ता सुनिश्चित करता है।

CVD TaC कोटिंग क्रूसिबल में आमतौर पर TaC कोटिंग और शामिल होती हैग्रेफाइटसब्सट्रेट. उनमें से, TaC एक उच्च गलनांक सिरेमिक सामग्री है जिसका गलनांक 3880°C तक होता है। इसमें अत्यधिक उच्च कठोरता (2000 एचवी तक विकर्स कठोरता), रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध और मजबूत ऑक्सीकरण प्रतिरोध है। इसलिए, सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण प्रौद्योगिकी में TaC कोटिंग एक उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोधी सामग्री है।

ग्रेफाइट सब्सट्रेट में अच्छी तापीय चालकता (थर्मल चालकता लगभग 21 W/m·K) और उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता है। यह विशेषता निर्धारित करती है कि ग्रेफाइट एक आदर्श कोटिंग बन जाता हैसब्सट्रेट.

CVD TaC कोटिंग क्रूसिबल का उपयोग मुख्य रूप से निम्नलिखित अर्धचालक प्रसंस्करण प्रौद्योगिकियों में किया जाता है:

वेफर निर्माण: वीटेक सेमीकंडक्टर सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल में उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध (3880 डिग्री सेल्सियस तक पिघलने बिंदु) और संक्षारण प्रतिरोध है, इसलिए इसका उपयोग अक्सर उच्च तापमान वाष्प जमाव (सीवीडी) और एपिटैक्सियल विकास जैसी प्रमुख वेफर निर्माण प्रक्रियाओं में किया जाता है। अति-उच्च तापमान वाले वातावरण में उत्पाद की उत्कृष्ट संरचनात्मक स्थिरता के साथ, यह सुनिश्चित करता है कि उपकरण अत्यंत कठोर परिस्थितियों में लंबे समय तक स्थिर रूप से काम कर सकता है, जिससे वेफर्स की उत्पादन दक्षता और गुणवत्ता में प्रभावी ढंग से सुधार होता है।

एपीटैक्सियल विकास प्रक्रिया: एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं में जैसेरासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी)और आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई), सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल ले जाने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। इसकी TaC कोटिंग न केवल अत्यधिक तापमान और संक्षारक वातावरण के तहत सामग्री की उच्च शुद्धता को बनाए रख सकती है, बल्कि उत्पादन प्रक्रिया और उत्पाद स्थिरता की सटीकता सुनिश्चित करते हुए, सामग्री पर अभिकारकों के संदूषण और रिएक्टर के क्षरण को भी प्रभावी ढंग से रोक सकती है।

चीन के अग्रणी सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल निर्माता और नेता के रूप में, वीटेक सेमीकंडक्टर आपके उपकरण और प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित उत्पाद और तकनीकी सेवाएं प्रदान कर सकता है। हम ईमानदारी से चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा करते हैं।

सूक्ष्म क्रॉस-सेक्शन पर टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग：

TaC कोटिंग के भौतिक गुण：

वीटेक सेमीकंडक्टर सीवीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल दुकानें：