चीन सिलिकॉन एपिटैक्सी निर्माता, आपूर्तिकर्ता, फ़ैक्टरी

सिलिकॉन एपिटैक्सी, ईपीआई, एपिटैक्सी, एपिटैक्सियल एक ही क्रिस्टलीय सिलिकॉन सब्सट्रेट पर एक ही क्रिस्टल दिशा और विभिन्न क्रिस्टल मोटाई के साथ क्रिस्टल की एक परत की वृद्धि को संदर्भित करता है। सेमीकंडक्टर असतत घटकों और एकीकृत सर्किट के निर्माण के लिए एपिटैक्सियल ग्रोथ तकनीक की आवश्यकता होती है, क्योंकि सेमीकंडक्टर में निहित अशुद्धियों में एन-प्रकार और पी-प्रकार शामिल हैं। विभिन्न प्रकारों के संयोजन के माध्यम से, अर्धचालक उपकरण विभिन्न प्रकार के कार्य प्रदर्शित करते हैं।

सिलिकॉन एपिटैक्सी वृद्धि विधि को गैस चरण एपिटैक्सी, तरल चरण एपिटैक्सी (एलपीई), ठोस चरण एपिटैक्सी में विभाजित किया जा सकता है, जाली अखंडता को पूरा करने के लिए रासायनिक वाष्प जमाव वृद्धि विधि का दुनिया में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

विशिष्ट सिलिकॉन एपिटैक्सियल उपकरण का प्रतिनिधित्व इतालवी कंपनी एलपीई द्वारा किया जाता है, जिसमें पैनकेक एपिटैक्सियल हाई पनोटिक टोर, बैरल प्रकार हाई पनोटिक टोर, सेमीकंडक्टर हाई पनोटिक, वेफर कैरियर इत्यादि हैं। बैरल के आकार के एपिटैक्सियल हाई पेलेक्टर प्रतिक्रिया कक्ष का योजनाबद्ध आरेख इस प्रकार है। वीटेक सेमीकंडक्टर बैरल के आकार का वेफर एपिटैक्सियल हाई पेलेक्टर प्रदान कर सकता है। SiC लेपित HY पेलेक्टर की गुणवत्ता बहुत परिपक्व है। एसजीएल के बराबर गुणवत्ता; साथ ही, वीटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन एपिटैक्सियल रिएक्शन कैविटी क्वार्ट्ज नोजल, क्वार्ट्ज बैफल, बेल जार और अन्य संपूर्ण उत्पाद भी प्रदान कर सकता है।

सिलिकॉन एपिटैक्सी के लिए वर्टियल एपिटैक्सियल सुसेप्टर:

सिलिकॉन एपिटैक्सियल सुसेप्टर बैरल-प्रकार वेफर ससेप्टर सेमीकंडक्टर रिसीवर SiC लेपित सुसेप्टर

सिलिकॉन एपिटैक्सी के लिए क्षैतिज एपिटैक्सियल सुसेप्टर:

यदि एपिटैक्सियल रिसीवर पैनकेक लेने वाला SiC लेपित सुसेप्टर