झरझरा टैंटलम कार्बाइड

VeTek सेमीकंडक्टर पोरस टैंटलम कार्बाइड (TaC) एक उच्च प्रदर्शन वाली सिरेमिक सामग्री है जो टैंटलम और कार्बन के गुणों को जोड़ती है। इसकी छिद्रपूर्ण संरचना उच्च तापमान और अत्यधिक वातावरण में विशिष्ट अनुप्रयोगों के लिए बहुत उपयुक्त है। TaC उत्कृष्ट कठोरता, थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध को जोड़ती है, जो इसे अर्धचालक प्रसंस्करण में एक आदर्श सामग्री विकल्प बनाती है।

पोरस टैंटलम कार्बाइड (TaC) टैंटलम (Ta) और कार्बन (C) से बना होता है, जिसमें टैंटलम कार्बन परमाणुओं के साथ एक मजबूत रासायनिक बंधन बनाता है, जिससे सामग्री को अत्यधिक स्थायित्व और पहनने का प्रतिरोध मिलता है। पोरस टीएसी की छिद्रपूर्ण संरचना सामग्री की विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान बनाई जाती है, और विशिष्ट अनुप्रयोग आवश्यकताओं के अनुसार छिद्र को नियंत्रित किया जा सकता है। यह उत्पाद आमतौर पर निर्मित किया जाता हैरासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी)विधि, इसके छिद्र आकार और वितरण का सटीक नियंत्रण सुनिश्चित करना।

टैंटलम कार्बाइड की आणविक संरचना

VeTek सेमीकंडक्टर पोरस टैंटलम कार्बाइड (TaC) में निम्नलिखित उत्पाद विशेषताएं हैं:

- सरंध्रता: छिद्रपूर्ण संरचना इसे गैस प्रसार, निस्पंदन या नियंत्रित गर्मी अपव्यय सहित विशिष्ट अनुप्रयोग परिदृश्यों में विभिन्न कार्य प्रदान करती है।

-उच्च गलनांक: टैंटलम कार्बाइड का अत्यंत उच्च गलनांक लगभग 3,880°C होता है, जो अत्यधिक उच्च तापमान वाले वातावरण के लिए उपयुक्त है।

-उत्कृष्ट कठोरता: पोरस टीएसी में हीरे के समान, मोह्स कठोरता पैमाने पर लगभग 9-10 की अत्यधिक उच्च कठोरता होती है। , और अत्यधिक परिस्थितियों में यांत्रिक घिसाव का विरोध कर सकता है।

- तापीय स्थिरता: टैंटलम कार्बाइड (TaC) सामग्री उच्च तापमान वाले वातावरण में स्थिर रह सकती है और इसमें मजबूत तापीय स्थिरता होती है, जो उच्च तापमान वाले वातावरण में इसके निरंतर प्रदर्शन को सुनिश्चित करती है।

- उच्च तापीय चालकता: अपनी सरंध्रता के बावजूद, पोरस टैंटलम कार्बाइड अभी भी अच्छी तापीय चालकता बरकरार रखता है, जिससे कुशल ताप हस्तांतरण सुनिश्चित होता है।

- कम तापीय विस्तार गुणांक: टैंटलम कार्बाइड (TaC) का कम तापीय विस्तार गुणांक महत्वपूर्ण तापमान उतार-चढ़ाव के तहत सामग्री को आयामी रूप से स्थिर रहने में मदद करता है और थर्मल तनाव के प्रभाव को कम करता है।

TaC कोटिंग के भौतिक गुण：

सेमीकंडक्टर निर्माण में, पोरस टैंटलम कार्बाइड (TaC) निम्नलिखित विशिष्ट महत्वपूर्ण भूमिका निभाता हैएस:

उच्च तापमान वाली प्रक्रियाओं में जैसेप्लाज्मा नक़्क़ाशीऔर सीवीडी, वीटेक सेमीकंडक्टर पोरस टैंटलम कार्बाइड का उपयोग अक्सर प्रसंस्करण उपकरणों के लिए एक सुरक्षात्मक कोटिंग के रूप में किया जाता है। यह इसके मजबूत संक्षारण प्रतिरोध के कारण हैटीएसी कोटिंगऔर इसकी उच्च तापमान स्थिरता। ये गुण सुनिश्चित करते हैं कि यह प्रतिक्रियाशील गैसों या अत्यधिक तापमान के संपर्क में आने वाली सतहों की प्रभावी ढंग से रक्षा करता है, जिससे उच्च तापमान प्रक्रियाओं की सामान्य प्रतिक्रिया सुनिश्चित होती है।

प्रसार प्रक्रियाओं में, पोरस टैंटलम कार्बाइड उच्च तापमान प्रक्रियाओं में सामग्रियों के मिश्रण को रोकने के लिए एक प्रभावी प्रसार अवरोधक के रूप में काम कर सकता है। इस सुविधा का उपयोग अक्सर आयन आरोपण और अर्धचालक वेफर्स की शुद्धता नियंत्रण जैसी प्रक्रियाओं में डोपेंट के प्रसार को नियंत्रित करने के लिए किया जाता है।

वीटेक सेमीकंडक्टर पोरस टैंटलम कार्बाइड की छिद्रपूर्ण संरचना सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण वातावरण के लिए बहुत उपयुक्त है जिसके लिए सटीक गैस प्रवाह नियंत्रण या निस्पंदन की आवश्यकता होती है। इस प्रक्रिया में, पोरस TaC मुख्य रूप से गैस निस्पंदन और वितरण की भूमिका निभाता है। इसकी रासायनिक जड़ता यह सुनिश्चित करती है कि निस्पंदन प्रक्रिया के दौरान कोई भी दूषित पदार्थ प्रवेश नहीं करता है। यह प्रभावी रूप से प्रसंस्कृत उत्पाद की शुद्धता की गारंटी देता है।

सूक्ष्म क्रॉस-सेक्शन पर टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग: