LPE PE3061S 6'' वेफर्स के लिए SiC लेपित पैनकेक ससेप्टर

पेशेवर निर्माता के रूप में, VeTek सेमीकंडक्टर आपको LPE PE3061S 6'' वेफर्स के लिए उच्च गुणवत्ता वाला SiC लेपित पैनकेक ससेप्टर प्रदान करना चाहता है।

LPE PE3061S 6" वेफर्स के लिए VeTeK सेमीकंडक्टर SiC कोटेड पैनकेक ससेप्टर सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाने वाला एक महत्वपूर्ण उपकरण है।

LPE PE3061S 6" वेफर्स के लिए SiC लेपित पैनकेक ससेप्टर उत्पाद विशेषताएं:

उच्च तापमान स्थिरता: SiC उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता प्रदर्शित करता है, उच्च तापमान वाले वातावरण में इसकी संरचना और प्रदर्शन को बनाए रखता है।

उत्कृष्ट तापीय चालकता: SiC में असाधारण तापीय चालकता है, जो तेज और समान ताप के लिए तीव्र और समान ताप हस्तांतरण को सक्षम बनाता है।

संक्षारण प्रतिरोध: SiC में उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता होती है, जो विभिन्न ताप वातावरणों में संक्षारण और ऑक्सीकरण का प्रतिरोध करती है।

समान ताप वितरण: SiC-लेपित वेफर वाहक समान ताप वितरण प्रदान करता है, जिससे हीटिंग के दौरान वेफर की सतह पर समान तापमान सुनिश्चित होता है।

सेमीकंडक्टर उत्पादन के लिए उपयुक्त: सी एपिटैक्सी वेफर कैरियर का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है, विशेष रूप से सी एपिटैक्सी विकास और अन्य उच्च तापमान हीटिंग प्रक्रियाओं के लिए।

उत्पाद लाभ:

बेहतर उत्पादन क्षमता: SiC-लेपित पैनकेक ससेप्टर तेजी से और एक समान हीटिंग सक्षम करता है, हीटिंग समय को कम करता है और उत्पादन दक्षता को बढ़ाता है।

सुनिश्चित उत्पाद की गुणवत्ता: समान हीटिंग वितरण वेफर प्रसंस्करण के दौरान स्थिरता सुनिश्चित करता है, जिससे उत्पाद की गुणवत्ता में सुधार होता है।

विस्तारित उपकरण जीवनकाल: SiC सामग्री उत्कृष्ट गर्मी प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता प्रदान करती है, जो पैनकेक ससेप्टर के लंबे जीवनकाल में योगदान करती है।

अनुकूलित समाधान: SiC-लेपित ससेप्टर, Si एपिटैक्सी वेफर कैरियर को ग्राहकों की आवश्यकताओं के आधार पर विभिन्न आकारों और विशिष्टताओं के अनुरूप बनाया जा सकता है।

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

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सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन: