LPE PE2061S के लिए SiC लेपित समर्थन

VeTek सेमीकंडक्टर चीन में LPE PE2061S निर्माता और प्रर्वतक के लिए एक अग्रणी SiC लेपित समर्थन है। हम कई वर्षों से SiC कोटिंग सामग्री में विशेषज्ञता प्राप्त कर रहे हैं। हम LPE PE2061S के लिए SiC लेपित समर्थन प्रदान करते हैं जो विशेष रूप से LPE सिलिकॉन एपिटैक्सी रिएक्टर के लिए डिज़ाइन किया गया है। LPE PE2061S के लिए यह SiC कोटेड सपोर्ट बैरल ससेप्टर के नीचे है। यह 1600 डिग्री सेल्सियस उच्च तापमान का सामना कर सकता है, ग्रेफाइट स्पेयर पार्ट के उत्पाद जीवन को बढ़ा सकता है। हमें पूछताछ भेजने के लिए आपका स्वागत है।

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उत्पाद वर्णन

LPE PE2061S के लिए उच्च गुणवत्ता वाला SiC लेपित समर्थन चीन निर्माता VeTek सेमीकंडक्टर द्वारा प्रदान किया जाता है। LPE PE2061S के लिए SiC कोटेड सपोर्ट खरीदें जो कम कीमत पर सीधे उच्च गुणवत्ता वाला हो।

सिलिकॉन एपिटेक्सी उपकरण में LPE PE2061S के लिए VeTeK सेमीकंडक्टर SiC कोटेड सपोर्ट, एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया के दौरान एपिटैक्सियल वेफर्स (या सब्सट्रेट्स) को समर्थन और पकड़ने के लिए बैरल प्रकार के रिसेप्टर के साथ संयोजन में उपयोग किया जाता है।

निचली प्लेट का उपयोग मुख्य रूप से बैरल एपिटैक्सियल भट्टी के साथ किया जाता है, बैरल एपिटैक्सियल भट्टी में एक बड़ा प्रतिक्रिया कक्ष होता है और फ्लैट एपिटैक्सियल ससेप्टर की तुलना में उच्च उत्पादन क्षमता होती है।

समर्थन में एक गोल छेद डिज़ाइन है और इसका उपयोग मुख्य रूप से रिएक्टर के अंदर निकास आउटलेट के लिए किया जाता है।

LPE PE2061S के लिए VeTeK सेमीकंडक्टर SiC कोटेड सपोर्ट लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (LPE) रिएक्टर सिस्टम के लिए है, जिसमें उच्च शुद्धता, समान कोटिंग, उच्च तापमान स्थिरता, संक्षारण प्रतिरोध, उच्च कठोरता, उत्कृष्ट तापीय चालकता, कम तापीय विस्तार गुणांक और रासायनिक जड़ता है। .

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति	विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
घनत्व	3.21 ग्राम/सेमी³
कठोरता	2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
ताप की गुंजाइश	640 जे·किग्रा-1·के-1
उर्ध्वपातन तापमान	2700℃
आनमनी सार्मथ्य	415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग मापांक	430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃
ऊष्मीय चालकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (सीटीई)	4.5×10-6K-1