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सीवीडी SiC कोटिंग एपिटैक्सी ससेप्टर
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सीवीडी SiC कोटिंग एपिटैक्सी ससेप्टर

VeTek सेमीकंडक्टर का CVD SiC कोटिंग एपिटैक्सी ससेप्टर एक सटीक-इंजीनियर्ड उपकरण है जिसे सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग और प्रसंस्करण के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह SiC कोटिंग एपिटैक्सी ससेप्टर पतली फिल्मों, एपिलेयर्स और अन्य कोटिंग्स के विकास को बढ़ावा देने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, और तापमान और सामग्री गुणों को सटीक रूप से नियंत्रित कर सकता है। आपकी आगे की पूछताछ का स्वागत है।

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उत्पाद वर्णन

CVD SiC कोटिंग एपिटैक्सी ससेप्टर एक प्रकार का हैएमओसीवीडी एलईडी एपी ससेप्टर, जो सीवीडी रिएक्टर में एक केंद्रीय भूमिका निभाता है। एपि ससेप्टर के रूप में, यह न केवल एक ताप स्रोत है, बल्कि जमाव प्रक्रिया के दौरान सब्सट्रेट के लिए एक स्थिर समर्थन मंच भी प्रदान करता है।SiC कोटिंगउच्च तापमान वाले वातावरण में ग्रेफाइट ससेप्टर के ऑक्सीकरण और संदूषण को प्रभावी ढंग से कम कर सकता है, जिससे जमा सामग्री की उच्च शुद्धता सुनिश्चित होती है।

बुनियादीCVD SiC कोटिंग के भौतिक गुण:

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति
विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना
एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
घनत्व
3.21 ग्राम/सेमी³
कठोरता
2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार
2~10μm
रासायनिक शुद्धता
99.99995%
ताप की गुंजाइश
640 जे·किग्रा-1·के-1
उर्ध्वपातन तापमान
2700℃
आनमनी सार्मथ्य
415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक
430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃
ऊष्मीय चालकता
300W·m-1·के-1
थर्मल विस्तार (सीटीई)
4.5×10-6K-1

सीवीडी SiC कोटिंग एपिटैक्सी ससेप्टर उत्पाद लाभ:

   ●  सटीक बयान: सीवीडी सीआईसी कोटिंग एपिटैक्सी ससेप्टर के साथ, आप उच्च-गुणवत्ता और दोहराने योग्य परिणाम प्राप्त करने के लिए पतली फिल्मों और कोटिंग्स का सटीक नियंत्रित जमाव प्राप्त कर सकते हैं।

   ●  संदूषण में कमी: SiC कोटिंग से संदूषण का खतरा कम हो जाता हैएपि सुसेप्टरग्रेफाइट आधारित, जमा सामग्री की शुद्धता सुनिश्चित करना।

   ●  सहनशीलता: SiC कोटिंग ग्रेफाइट एपिटैक्सी ससेप्टर के ऑक्सीकरण प्रतिरोध और रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ाती है, जिससे इसे लंबी सेवा जीवन और उच्च विश्वसनीयता मिलती है।


वीटेक सेमीकंडक्टर उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और प्रतिस्पर्धी कीमतें प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। यह है यायदि ईपीआई रिसीवरया उच्च शुद्धता ग्रेफाइट ईपीआई ससेप्टर, हम आपकी आवश्यकताओं को पूरा कर सकते हैं। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा कर रहे हैं।


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