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एलपीई रिएक्टर के लिए 8 इंच हाफमून पार्ट
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एलपीई रिएक्टर के लिए 8 इंच हाफमून पार्ट

VeTek सेमीकंडक्टर चीन में LPE रिएक्टर निर्माता और प्रर्वतक के लिए एक अग्रणी 8 इंच हाफमून पार्ट है। हम कई वर्षों से SiC कोटिंग सामग्री में विशेषज्ञता प्राप्त कर रहे हैं। हम LPE रिएक्टर के लिए 8 इंच हाफमून पार्ट पेश करते हैं जो विशेष रूप से LPE SiC एपिटैक्सी रिएक्टर के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह हाफमून भाग अपने इष्टतम आकार, अनुकूलता और उच्च उत्पादकता के साथ सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए एक बहुमुखी और कुशल समाधान है। हम चीन में हमारे कारखाने का दौरा करने के लिए आपका स्वागत करते हैं।

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उत्पाद वर्णन

पेशेवर निर्माता के रूप में, वीटेक सेमीकंडक्टर आपको एलपीई रिएक्टर के लिए उच्च गुणवत्ता वाला 8 इंच हाफमून पार्ट प्रदान करना चाहता है।

एलपीई रिएक्टर के लिए वीटेक सेमीकंडक्टर 8 इंच हाफमून भाग सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाने वाला एक आवश्यक घटक है, विशेष रूप से सीआईसी एपिटैक्सियल उपकरण में। वीटेक सेमीकंडक्टर एलपीई रिएक्टर के लिए 8 इंच हाफमून भाग का उत्पादन करने के लिए एक पेटेंट तकनीक का उपयोग करता है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि उनमें असाधारण शुद्धता, समान कोटिंग और उत्कृष्ट दीर्घायु है। इसके अतिरिक्त, ये हिस्से उल्लेखनीय रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता गुणों का प्रदर्शन करते हैं।

एलपीई रिएक्टर के लिए 8 इंच हाफमून भाग का मुख्य भाग उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से बना है, जो उत्कृष्ट तापीय चालकता और यांत्रिक स्थिरता प्रदान करता है। उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट को इसकी कम अशुद्धता सामग्री के लिए चुना जाता है, जिससे एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया के दौरान न्यूनतम संदूषण सुनिश्चित होता है। इसकी मजबूती इसे एलपीई रिएक्टर के भीतर कठिन परिस्थितियों का सामना करने की अनुमति देती है।

VeTek सेमीकंडक्टर SiC कोटेड ग्रेफाइट हाफमून पार्ट्स अत्यंत सटीकता और विस्तार पर ध्यान के साथ निर्मित किए जाते हैं। उपयोग की जाने वाली सामग्रियों की उच्च शुद्धता सेमीकंडक्टर निर्माण में बेहतर प्रदर्शन और विश्वसनीयता की गारंटी देती है। इन भागों पर एक समान कोटिंग उनके पूरे सेवा जीवन के दौरान सुसंगत और कुशल संचालन सुनिश्चित करती है।

हमारे SiC लेपित ग्रेफाइट हाफमून पार्ट्स का एक प्रमुख लाभ उनका उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध है। वे अर्धचालक विनिर्माण वातावरण की संक्षारक प्रकृति का सामना कर सकते हैं, लंबे समय तक चलने वाले स्थायित्व को सुनिश्चित कर सकते हैं और बार-बार प्रतिस्थापन की आवश्यकता को कम कर सकते हैं। इसके अलावा, उनकी असाधारण थर्मल स्थिरता उन्हें उच्च तापमान स्थितियों के तहत अपनी संरचनात्मक अखंडता और कार्यक्षमता बनाए रखने की अनुमति देती है।

हमारे SiC लेपित ग्रेफाइट हाफमून पार्ट्स को SiC एपिटैक्सियल उपकरण की कठोर आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सावधानीपूर्वक डिजाइन किया गया है। अपने विश्वसनीय प्रदर्शन के साथ, ये भाग एपिटैक्सियल विकास प्रक्रियाओं की सफलता में योगदान करते हैं, जिससे उच्च गुणवत्ता वाली SiC फिल्मों का जमाव संभव हो पाता है।



CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
घनत्व 3.21 ग्राम/सेमी³
कठोरता 2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार 2~10μm
रासायनिक शुद्धता 99.99995%
ताप की गुंजाइश 640 जे·किग्रा-1·के-1
उर्ध्वपातन तापमान 2700℃
आनमनी सार्मथ्य 415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग मापांक 430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃
ऊष्मीय चालकता 300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (सीटीई) 4.5×10-6K-1


वीटेक सेमीकंडक्टर प्रोडक्शन शॉप


सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन:


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