VeTek सेमीकंडक्टर चीन में MOCVD LED Epi Susceptor, ALD प्लैनेटरी Susceptor, TaC कोटेड ग्रेफाइट Susceptor का एक पेशेवर निर्माता है। वीटेक सेमीकंडक्टर का एमओसीवीडी एलईडी एपी ससेप्टर एपिटैक्सियल उपकरण अनुप्रयोगों की मांग के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसकी उच्च तापीय चालकता, रासायनिक स्थिरता और स्थायित्व एक स्थिर एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया और उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक फिल्म उत्पादन को सुनिश्चित करने के लिए महत्वपूर्ण कारक हैं। हम आपके साथ आगे सहयोग की आशा करते हैं।
वीटेक सेमीकंडक्टर'एसएमओसीवीडी एलईडी एपी ससेप्टरएक मुख्य घटक है. अर्धचालक उपकरणों की तैयारी प्रक्रिया में,एमओसीवीडी एलईडी एपी ससेप्टरयह न केवल एक साधारण हीटिंग प्लेटफॉर्म है, बल्कि एक सटीक प्रक्रिया उपकरण भी है, जिसका पतली फिल्म सामग्री की गुणवत्ता, विकास दर, एकरूपता और अन्य पहलुओं पर गहरा प्रभाव पड़ता है।
के विशिष्ट उपयोगएमओसीवीडी एलईडी एपी ससेप्टरअर्धचालक प्रसंस्करण में निम्नलिखित हैं:
सब्सट्रेट हीटिंग और एकरूपता नियंत्रण:
एमओसीवीडी एपिटैक्सि ससेप्टर का उपयोग एपिटैक्सियल वृद्धि के दौरान सब्सट्रेट के स्थिर तापमान को सुनिश्चित करने के लिए एक समान हीटिंग प्रदान करने के लिए किया जाता है। यह उच्च-गुणवत्ता वाली अर्धचालक फिल्में प्राप्त करने और सब्सट्रेट में एपिटैक्सियल परतों की मोटाई और क्रिस्टल गुणवत्ता में स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए आवश्यक है।
रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) रिएक्टर चैंबर्स के लिए समर्थन:
सीवीडी रिएक्टर में एक महत्वपूर्ण घटक के रूप में, ससेप्टर सब्सट्रेट्स पर धातु कार्बनिक यौगिकों के जमाव का समर्थन करता है। यह वांछित अर्धचालक सामग्री बनाने के लिए इन यौगिकों को सटीक रूप से ठोस फिल्मों में परिवर्तित करने में मदद करता है।
गैस वितरण को बढ़ावा देना:
ससेप्टर का डिज़ाइन प्रतिक्रिया कक्ष में गैसों के प्रवाह वितरण को अनुकूलित कर सकता है, यह सुनिश्चित करता है कि प्रतिक्रिया गैस सब्सट्रेट से समान रूप से संपर्क करती है, जिससे एपिटैक्सियल फिल्मों की एकरूपता और गुणवत्ता में सुधार होता है।
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CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:
उत्पादन की दुकानें:
सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन: