एमओसीवीडी स्वीकर्ता

CVD SiC कोटिंग निर्माता के रूप में, VeTek सेमीकंडक्टर आपको Aixtron G5 MOCVD Susceptors प्रदान करना चाहता है जो उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट और CVD SiC कोटिंग (5ppm से नीचे) से बना है।

हमसे पूछताछ करने के लिए आपका स्वागत है।

माइक्रो एलईडी तकनीक मौजूदा एलईडी पारिस्थितिकी तंत्र को उन तरीकों और दृष्टिकोणों से बाधित कर रही है जो अब तक केवल एलसीडी या सेमीकंडक्टर उद्योगों में देखी गई हैं, और ऐक्सट्रॉन जी5 एमओसीवीडी प्रणाली इन कठोर विस्तार आवश्यकताओं का पूरी तरह से समर्थन करती है। Aixtron G5 एक शक्तिशाली MOCVD रिएक्टर है जिसे मुख्य रूप से सिलिकॉन-आधारित GaN एपिटैक्सी विकास के लिए डिज़ाइन किया गया है।

यह आवश्यक है कि उत्पादित सभी एपिटैक्सियल वेफर्स में बहुत तंग तरंग दैर्ध्य वितरण और बहुत कम सतह दोष स्तर हों, जिसके लिए नवीन एमओसीवीडी तकनीक की आवश्यकता होती है।

Aixtron G5 एक क्षैतिज प्लैनेटरी डिस्क एपिटैक्सी सिस्टम है, मुख्य रूप से प्लैनेटरी डिस्क, MOCVD ससेप्टर, कवर रिंग, सीलिंग, सपोर्टिंग रिंग, कवर डिस्क, एक्सहॉस्ट कलेक्टर, पिन वॉशर, कलेक्टर इनलेट रिंग, आदि, मुख्य उत्पाद सामग्री CVD SiC कोटिंग + हैं उच्च शुद्धता ग्रेफाइट, सेमीकंडक्टर क्वार्ट्ज, सीवीडी टीएसी कोटिंग+उच्च शुद्धता ग्रेफाइट, कठोर फेल्ट और अन्य सामग्री।

MOCVD Susceptor विशेषताएं इस प्रकार हैं:

आधार सामग्री सुरक्षा: सीवीडी SiC कोटिंग एपिटैक्सियल प्रक्रिया में एक सुरक्षात्मक परत के रूप में कार्य करती है, जो आधार सामग्री के बाहरी वातावरण के क्षरण और क्षति को प्रभावी ढंग से रोक सकती है, विश्वसनीय सुरक्षात्मक उपाय प्रदान करती है और उपकरण की सेवा जीवन का विस्तार करती है।

उत्कृष्ट तापीय चालकता: सीवीडी SiC कोटिंग में उत्कृष्ट तापीय चालकता होती है और यह आधार सामग्री से कोटिंग सतह तक गर्मी को जल्दी से स्थानांतरित कर सकती है, जिससे एपिटेक्सी के दौरान थर्मल प्रबंधन दक्षता में सुधार होता है और यह सुनिश्चित होता है कि उपकरण उचित तापमान सीमा के भीतर संचालित होता है।

फिल्म की गुणवत्ता में सुधार: सीवीडी SiC कोटिंग एक सपाट, समान सतह प्रदान कर सकती है, जो फिल्म के विकास के लिए एक अच्छी नींव प्रदान करती है। यह जाली बेमेल के कारण होने वाले दोषों को कम कर सकता है, फिल्म की क्रिस्टलीयता और गुणवत्ता में सुधार कर सकता है, और इस प्रकार एपिटैक्सियल फिल्म के प्रदर्शन और विश्वसनीयता में सुधार कर सकता है।

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

औद्योगिक श्रृंखला:

उत्पादन की दुकान