टैंटलम कार्बाइड टीएसी लेपित हाफमून

VeTek सेमीकंडक्टर टैंटलम कार्बाइड TaC कोटेड हाफमून के लिए चीन में अग्रणी निर्माता और आपूर्तिकर्ता है, हम अनुसंधान एवं विकास और उत्पादन में विशेषज्ञता रखते हैं, गुणवत्ता को अच्छी तरह से नियंत्रित कर सकते हैं और प्रतिस्पर्धी मूल्य की पेशकश कर सकते हैं। दीर्घकालिक सहयोग पर आगे की चर्चा के लिए हमारे कारखाने में आने के लिए आपका स्वागत है।

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उत्पाद वर्णन

VeTek सेमीकंडक्टर एक पेशेवर चीन टैंटलम कार्बाइड TaC कोटेड हाफमून निर्माता और आपूर्तिकर्ता है। वीटेक सेमीकंडक्टर टैंटलम कार्बाइड टीएसी कोटेड हाफमून प्रदान करता है, जो सिलिकॉन कार्बाइड की एपिटैक्सियल प्रक्रिया में एक सहायक और परिवहन भूमिका निभाता है, यह न केवल सब्सट्रेट का समर्थन करता है, बल्कि एक सपाट आधार भी प्रदान करता है, जिससे एपिटैक्स को उस पर समान रूप से बढ़ने की अनुमति मिलती है।

हाफमून भाग की गुणवत्ता और प्रदर्शन सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल प्रक्रिया के दौरान वेफर की गुणवत्ता और प्रदर्शन को सीधे प्रभावित करते हैं। इसलिए, SiC एपिटैक्सियल प्रक्रिया की सफलता के लिए उपयुक्त हाफमून भाग को डिजाइन करना और चुनना महत्वपूर्ण है। वीटेक सेमीकंडक्टर द्वारा निर्मित टैंटलम कार्बाइड टीएसी कोटेड हाफमून अपने उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध और पहनने के प्रतिरोध को बढ़ा सकता है, जिससे विकास प्रक्रिया के दौरान हाफ मून घटक की स्थिरता और जीवनकाल में काफी सुधार होता है।

टैंटलम कार्बाइड कोटिंग का पैरामीटर:

TaC कोटिंग के भौतिक गुण
घनत्व	14.3 (ग्राम/सेमी³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	6.3 10-6/के
कठोरता (एचके)	2000 एच.के
प्रतिरोध	1×10-5 ओम*सेमी
तापीय स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है	-10~-20um
परत की मोटाई	≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)