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चीन टैंटलम कार्बाइड कोटिंग निर्माता, आपूर्तिकर्ता, फ़ैक्टरी
वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए टैंटलम कार्बाइड कोटिंग सामग्री का अग्रणी निर्माता है। हमारे मुख्य उत्पाद प्रस्तावों में सीवीडी टैंटलम कार्बाइड कोटिंग पार्ट्स, सीआईसी क्रिस्टल विकास या सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी प्रक्रिया के लिए सिंटेड टीएसी कोटिंग पार्ट्स शामिल हैं। ISO9001 पारित, VeTek सेमीकंडक्टर का गुणवत्ता पर अच्छा नियंत्रण है। वीटेक सेमीकंडक्टर पुनरावृत्त प्रौद्योगिकियों के चल रहे अनुसंधान और विकास के माध्यम से टैंटलम कार्बाइड कोटिंग उद्योग में प्रर्वतक बनने के लिए समर्पित है।
मुख्य उत्पाद हैंटैंटलम कार्बाइड कोटिंग डिफेक्टर रिंग, TaC कोटेड डायवर्जन रिंग, TaC कोटेड हाफमून पार्ट्स, टैंटलम कार्बाइड कोटेड प्लैनेटरी रोटेशन डिस्क (Aixtron G10), TaC कोटेड क्रूसिबल; TaC लेपित छल्ले; TaC लेपित झरझरा ग्रेफाइट; टैंटलम कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट सुसेप्टर; TaC लेपित गाइड रिंग; TaC टैंटलम कार्बाइड लेपित प्लेट; TaC लेपित वेफर सुसेप्टर; TaC कोटिंग रिंग; TaC कोटिंग ग्रेफाइट कवर; TaC लेपित हिस्साआदि, शुद्धता 5ppm से कम है, ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।
TaC कोटिंग ग्रेफाइट एक मालिकाना रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रिया द्वारा टैंटलम कार्बाइड की एक महीन परत के साथ उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट की सतह को कोटिंग करके बनाया जाता है। लाभ नीचे चित्र में दिखाया गया है:
टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग ने 3880°C तक के अपने उच्च गलनांक, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति, कठोरता और थर्मल झटके के प्रतिरोध के कारण ध्यान आकर्षित किया है, जिससे यह उच्च तापमान आवश्यकताओं के साथ यौगिक अर्धचालक एपिटेक्सी प्रक्रियाओं का एक आकर्षक विकल्प बन गया है। जैसे ऐक्सट्रॉन एमओसीवीडी सिस्टम और एलपीई सीआईसी एपिटैक्सी प्रक्रिया। इसका पीवीटी विधि सीआईसी क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में भी व्यापक अनुप्रयोग है।
प्रमुख विशेषताऐं:
●तापमान स्थिरता
●अति उच्च शुद्धता
●H2, NH3, SiH4,Si का प्रतिरोध
●थर्मल स्टॉक का प्रतिरोध
●ग्रेफाइट पर मजबूत आसंजन
●अनुरूप कोटिंग कवरेज
● 750 मिमी व्यास तक का आकार (चीन में एकमात्र निर्माता इस आकार तक पहुंचता है)
अनुप्रयोग:
● आगमनात्मक ताप संग्राहक
● प्रतिरोधक ताप तत्व
● हीट शील्ड
सूक्ष्म क्रॉस-सेक्शन पर टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग:
वीटेक सेमीकंडक्टर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग का पैरामीटर:
| TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
| घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
| विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
| थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
| कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
| प्रतिरोध | 1×10-5ओम*सेमी |
| तापीय स्थिरता | <2500℃ |
| ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
| कोटिंग की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |
TaC कोटिंग EDX डेटा：
TaC कोटिंग क्रिस्टल संरचना डेटा:
| तत्व | परमाणु प्रतिशत | |||
| पं. 1 | पं. 2 | पं. 3 | औसत | |
| सी के | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| उन्हें | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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चीन में एक पेशेवर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या आप चीन में निर्मित उन्नत और टिकाऊ टैंटलम कार्बाइड कोटिंग खरीदना चाहते हों, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।
