TaC कोटिंग रोटेशन प्लेट

VeTek सेमीकंडक्टर की TaC कोटिंग रोटेशन प्लेट में उच्च शुद्धता संरचना, 5ppm से कम की अशुद्धता सामग्री और एक घनी और समान संरचना होती है, जिसका व्यापक रूप से LPE EPI सिस्टम, Aixtron सिस्टम, Nuflare सिस्टम, TEL CVD सिस्टम, VEECO सिस्टम, TSI में उपयोग किया जाता है। सिस्टम.

उत्कृष्ट यांत्रिक गुण:

उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध के साथ 2300HV तक कोटिंग कठोरता।

कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच आसंजन मजबूत होता है, और इसे गिराना या छीलना आसान नहीं होता है।

कोटिंग अभी भी उच्च तापमान पर अच्छी संरचनात्मक स्थिरता बनाए रख सकती है।

उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध:

TaC सामग्री में स्वयं उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता और संक्षारण प्रतिरोध होता है।

VeTek सेमीकंडक्टर की कोटिंग्स विभिन्न प्रकार के आक्रामक गैस वातावरणों में अच्छा प्रदर्शन करती हैं।

उपकरण के आंतरिक घटकों को संक्षारण क्षति से प्रभावी ढंग से बचा सकता है।

उच्च सतह खत्म:

VeTek सेमीकंडक्टर वांछित फिनिश उत्पन्न करने के लिए एक सटीक कोटिंग प्रक्रिया का उपयोग करता है।

कम सतह खुरदरापन कण संचय और जमाव को कम करने में मदद करता है।

कोटिंग की स्थिरता अच्छी है:

वीटेक सेमीकंडक्टर में बैचों के बीच लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए एक ध्वनि गुणवत्ता नियंत्रण प्रणाली है।

कोटिंग की मोटाई समान रूप से वितरित है और कोई स्पष्ट स्थानीय दोष नहीं हैं।

उत्कृष्ट व्यावहारिक अनुप्रयोग प्रदर्शन:

VeTek सेमीकंडक्टर की TaC कोटिंग का उपयोग देश और विदेश में कई प्रसिद्ध एपिटैक्सियल उपकरण निर्माताओं में व्यापक रूप से किया जाता है।

TaC लेपित रोटेशन प्लेट का उत्पाद भौतिक पैरामीटर: