TaC लेपित तीन पंखुड़ी वाली अंगूठी

VeTek सेमीकंडक्टर एक पेशेवर चीन TaC कोटेड थ्री-पेटल रिंग निर्माता और आपूर्तिकर्ता है। TaC कोटेड थ्री-पेटल रिंग का उपयोग कंपाउंड सेमीकंडक्टर के लिए Aixtron G10-डिपोजिशन सिस्टम, GaN पावर और RF के लिए G10-GaN 150/200 मिमी उच्च थ्रूपुट एपिटेक्सी में किया जाता है। अनुप्रयोग।

VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग उच्च तापमान प्रतिरोधी सामग्री की एक नई पीढ़ी है, जिसमें SiC की तुलना में बेहतर उच्च तापमान स्थिरता है, संक्षारण प्रतिरोधी कोटिंग, ऑक्सीकरण प्रतिरोधी कोटिंग, पहनने के लिए प्रतिरोधी कोटिंग, 2000 ℃ से ऊपर के वातावरण में उपयोग किया जा सकता है, व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है एयरोस्पेस अल्ट्रा-उच्च तापमान गर्म अंत भागों, अर्धचालक एकल क्रिस्टल विकास और अन्य क्षेत्रों की तीसरी पीढ़ी।

उत्पाद की विशेषताएँ:

1. उच्च शुद्धता, अशुद्धता सामग्री <5पीपीएम

2. उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, उच्च घनत्व, उच्च घनत्व

3. यह उच्च तापमान पर अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलाने और सिलिकॉन के लिए रासायनिक रूप से निष्क्रिय है और इसमें अच्छी तापीय स्थिरता है।

4. थर्मल शॉक प्रतिरोध, ऑपरेशन चक्र को तेज कर सकता है

5. मजबूत ग्रेफाइट आसंजन लंबी सेवा जीवन और कोई कोटिंग प्रदूषण सुनिश्चित करता है।

6. सख्त आयामी सहनशीलता.

मुख्य अनुप्रयोग:

1. एपीटैक्सियल वृद्धि

2. एकल क्रिस्टल वृद्धि

3. उच्च तापमान संक्षारण मोड़

4. उच्च तापमान और ऑक्सीकरण प्रतिरोधी नोजल

5. गैस टरबाइन ब्लेड

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