SiC लेपित वेफर होल्डर

VeTek सेमीकंडक्टर के SiC कोटेड वेफर होल्डर का उपयोग आमतौर पर सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के दौरान वेफर्स को ठीक करने और समर्थन करने के लिए किया जाता है। यह एक उच्च प्रदर्शन वाला हैवेफर वाहकअर्धचालक विनिर्माण में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। की सतह पर सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) की एक परत चढ़ाकरसब्सट्रेट, उत्पाद सब्सट्रेट को जंग से प्रभावी ढंग से रोक सकता है, और वेफर वाहक के संक्षारण प्रतिरोध और यांत्रिक शक्ति में सुधार कर सकता है, जिससे प्रसंस्करण प्रक्रिया की स्थिरता और सटीक आवश्यकताओं को सुनिश्चित किया जा सकता है।

SiC लेपित वेफर धारकआमतौर पर अर्धचालक प्रसंस्करण के दौरान वेफर्स को ठीक करने और समर्थन देने के लिए उपयोग किया जाता है। यह एक उच्च प्रदर्शन वाला वेफर कैरियर है जिसका व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण में उपयोग किया जाता है। की एक परत चढ़ाकरसिलिकॉन कार्बाइड (SiC)सब्सट्रेट की सतह पर, उत्पाद सब्सट्रेट को जंग से प्रभावी ढंग से रोक सकता है, और प्रसंस्करण प्रक्रिया की स्थिरता और सटीक आवश्यकताओं को सुनिश्चित करते हुए, वेफर वाहक के संक्षारण प्रतिरोध और यांत्रिक शक्ति में सुधार कर सकता है।

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) का गलनांक लगभग 2,730°C होता है और इसकी उत्कृष्ट तापीय चालकता लगभग 120-180 W/m·K होती है। यह गुण उच्च तापमान प्रक्रियाओं में गर्मी को जल्दी से नष्ट कर सकता है और वेफर और वाहक के बीच अधिक गर्मी को रोक सकता है। इसलिए, SiC कोटेड वेफर होल्डर आमतौर पर सब्सट्रेट के रूप में सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट का उपयोग करता है।

SiC की अत्यधिक उच्च कठोरता (लगभग 2,500 HV की विकर्स कठोरता) के साथ संयुक्त, CVD प्रक्रिया द्वारा जमा की गई सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग एक घनी और मजबूत सुरक्षात्मक कोटिंग बना सकती है, जो SiC लेपित वेफर होल्डर के पहनने के प्रतिरोध में काफी सुधार करती है। .

VeTek सेमीकंडक्टर का SiC कोटेड वेफर होल्डर SiC कोटेड ग्रेफाइट से बना है और आधुनिक सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी प्रक्रियाओं में एक अनिवार्य प्रमुख घटक है। यह चतुराई से ग्रेफाइट की उत्कृष्ट तापीय चालकता (कमरे के तापमान पर तापीय चालकता लगभग 100-400 W/m·K है) और यांत्रिक शक्ति, और सिलिकॉन कार्बाइड के उत्कृष्ट रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध और तापीय स्थिरता (SiC का पिघलने बिंदु) को जोड़ती है 2,730°C), आज के उच्च-स्तरीय सेमीकंडक्टर विनिर्माण वातावरण की कठोर आवश्यकताओं को पूरी तरह से पूरा करता है।

यह सिंगल-वेफर डिज़ाइन धारक सटीक रूप से नियंत्रित कर सकता हैएपिटैक्सियल प्रक्रियापैरामीटर, जो उच्च-गुणवत्ता, उच्च-प्रदर्शन वाले अर्धचालक उपकरणों का उत्पादन करने में मदद करता है। इसकी अनूठी संरचनात्मक डिजाइन यह सुनिश्चित करती है कि पूरी प्रक्रिया के दौरान वेफर को सबसे अधिक देखभाल और सटीकता के साथ संभाला जाता है, जिससे एपिटैक्सियल परत की उत्कृष्ट गुणवत्ता सुनिश्चित होती है और अंतिम अर्धचालक उत्पाद के प्रदर्शन में सुधार होता है।

चीन के अग्रणी के रूप मेंSiC लेपितवेफर होल्डर निर्माता और नेता, वीटेक सेमीकंडक्टर आपके उपकरण और प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित उत्पाद और तकनीकी सेवाएं प्रदान कर सकता है।हम ईमानदारी से चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा करते हैं.

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

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