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SiC लेपित बैरल सुसेप्टर
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SiC लेपित बैरल सुसेप्टर

वीटेक सेमीकंडक्टर एलपीई सिलिकॉन एपिटेक्सी प्रतिक्रिया कक्षों के लिए घटक समाधानों का एक व्यापक सेट प्रदान करता है, जो लंबी उम्र, स्थिर गुणवत्ता और बेहतर एपिटैक्सियल परत उपज प्रदान करता है। हमारे उत्पाद जैसे SiC कोटेड बैरल ससेप्टर को ग्राहकों से स्थिति प्रतिक्रिया प्राप्त हुई। हम Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy, आदि के लिए तकनीकी सहायता भी प्रदान करते हैं। मूल्य निर्धारण संबंधी जानकारी के लिए बेझिझक पूछताछ करें।

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उत्पाद वर्णन

VeTek सेमीकंडक्टर एक अग्रणी चीन SiC कोटिंग और TaC कोटिंग निर्माता, आपूर्तिकर्ता और निर्यातक है। उत्पादों की उत्तम गुणवत्ता की खोज का पालन करना, ताकि हमारे SiC कोटेड बैरल ससेप्टर कई ग्राहकों से संतुष्ट हो। बेहतरीन डिज़ाइन, गुणवत्तापूर्ण कच्चा माल, उच्च प्रदर्शन और प्रतिस्पर्धी कीमत हर ग्राहक चाहता है, और यही वह चीज़ है जो हम आपको प्रदान कर सकते हैं। निःसंदेह, हमारी उत्तम बिक्री-पश्चात सेवा भी आवश्यक है। यदि आप हमारी SiC कोटेड बैरल ससेप्टर सेवाओं में रुचि रखते हैं, तो आप अभी हमसे परामर्श कर सकते हैं, हम आपको समय पर जवाब देंगे!


SiC Coated Barrel Susceptor Application Scenarios

VeTek सेमीकंडक्टर SiC कोटेड बैरल ससेप्टर मुख्य रूप से LPE Si EPI रिएक्टरों के लिए उपयोग किया जाता है

एलपीई (लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी) सिलिकॉन एपिटैक्सी सिलिकॉन सब्सट्रेट्स पर सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन की पतली परतें जमा करने के लिए आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल ग्रोथ तकनीक है। यह क्रिस्टल वृद्धि प्राप्त करने के लिए एक समाधान में रासायनिक प्रतिक्रियाओं पर आधारित एक तरल-चरण विकास विधि है।


एलपीई सिलिकॉन एपिटैक्सी के मूल सिद्धांत में सब्सट्रेट को वांछित सामग्री वाले समाधान में डुबोना, तापमान और समाधान संरचना को नियंत्रित करना, समाधान में सामग्री को एकल-क्रिस्टल सिलिकॉन परत के रूप में विकसित करने की अनुमति देना शामिल है। 

सब्सट्रेट सतह पर. एपिटैक्सियल वृद्धि के दौरान विकास की स्थिति और समाधान संरचना को समायोजित करके, वांछित क्रिस्टल गुणवत्ता, मोटाई और डोपिंग एकाग्रता प्राप्त की जा सकती है।


SiC Coated Barrel Susceptor products

एलपीई सिलिकॉन एपिटैक्सी कई विशेषताएं और लाभ प्रदान करता है। सबसे पहले, इसे अपेक्षाकृत कम तापमान पर किया जा सकता है, जिससे सामग्री में थर्मल तनाव और अशुद्धता प्रसार कम हो जाता है। दूसरे, एलपीई सिलिकॉन एपिटैक्सी उच्च एकरूपता और उत्कृष्ट क्रिस्टल गुणवत्ता प्रदान करता है, जो उच्च प्रदर्शन वाले अर्धचालक उपकरणों के निर्माण के लिए उपयुक्त है। इसके अतिरिक्त, एलपीई तकनीक मल्टीलेयर और हेटरोस्ट्रक्चर जैसी जटिल संरचनाओं के विकास को सक्षम बनाती है।


एलपीई सिलिकॉन एपिटेक्सी में, सीआईसी कोटेड बैरल ससेप्टर एक महत्वपूर्ण एपिटैक्सियल घटक है। इसका उपयोग आम तौर पर तापमान और वातावरण नियंत्रण प्रदान करते हुए एपिटैक्सियल विकास के लिए आवश्यक सिलिकॉन सब्सट्रेट्स को पकड़ने और समर्थन करने के लिए किया जाता है। SiC कोटिंग एपिटैक्सियल विकास प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा करते हुए, रिसेप्टर के उच्च तापमान स्थायित्व और रासायनिक स्थिरता को बढ़ाती है। SiC कोटेड बैरल ससेप्टर का उपयोग करके, एपिटैक्सियल वृद्धि की दक्षता और स्थिरता में सुधार किया जा सकता है, जिससे उच्च गुणवत्ता वाली एपिटैक्सियल परतों का विकास सुनिश्चित होता है।



CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण


CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
घनत्व 3.21 ग्राम/सेमी³
कठोरता 2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार 2~10μm
रासायनिक शुद्धता 99.99995%
ताप की गुंजाइश 640 जे·किग्रा-1·के-1
उर्ध्वपातन तापमान 2700℃
आनमनी सार्मथ्य 415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक 430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃
ऊष्मीय चालकता 300W·m-1·के-1
थर्मल विस्तार (सीटीई) 4.5×10-6K-1


सीवीडी एसआईसी फिल्म क्रिस्टल संरचना


CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


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