प्री-हीट रिंग

VeTek सेमीकंडक्टर चीन में SiC कोटिंग निर्माता का एक प्रर्वतक है। VeTek सेमीकंडक्टर द्वारा प्रदान की गई प्री-हीट रिंग एपिटैक्सी प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन की गई है। कच्चे माल के रूप में समान सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग और उच्च अंत ग्रेफाइट सामग्री लगातार जमाव सुनिश्चित करती है और एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता और एकरूपता में सुधार करती है। हम आपके साथ दीर्घकालिक सहयोग स्थापित करने की आशा कर रहे हैं।

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उत्पाद वर्णन

प्री-हीट रिंग एक प्रमुख उपकरण है जिसे विशेष रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण में एपिटैक्सियल (ईपीआई) प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसका उपयोग ईपीआई प्रक्रिया से पहले वेफर्स को प्री-हीट करने के लिए किया जाता है, जिससे पूरे एपिटैक्सियल विकास में तापमान स्थिरता और एकरूपता सुनिश्चित होती है।

वीटेक सेमीकंडक्टर द्वारा निर्मित, हमारी ईपीआई प्री हीट रिंग कई उल्लेखनीय विशेषताएं और लाभ प्रदान करती है। सबसे पहले, इसका निर्माण उच्च तापीय चालकता सामग्री का उपयोग करके किया गया है, जो वेफर सतह पर तेजी से और समान गर्मी हस्तांतरण की अनुमति देता है। यह हॉटस्पॉट और तापमान प्रवणता के गठन को रोकता है, लगातार जमाव सुनिश्चित करता है और एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता और एकरूपता में सुधार करता है।

इसके अतिरिक्त, हमारी ईपीआई प्री हीट रिंग एक उन्नत तापमान नियंत्रण प्रणाली से सुसज्जित है, जो प्री-हीट तापमान के सटीक और सुसंगत नियंत्रण को सक्षम करती है। नियंत्रण का यह स्तर ईपीआई प्रक्रिया के दौरान क्रिस्टल विकास, सामग्री जमाव और इंटरफ़ेस प्रतिक्रियाओं जैसे महत्वपूर्ण चरणों की सटीकता और दोहराव को बढ़ाता है।

स्थायित्व और विश्वसनीयता हमारे उत्पाद डिजाइन के आवश्यक पहलू हैं। ईपीआई प्री हीट रिंग को उच्च तापमान और परिचालन दबाव का सामना करने, लंबे समय तक स्थिरता और प्रदर्शन बनाए रखने के लिए बनाया गया है। यह डिज़ाइन दृष्टिकोण रखरखाव और प्रतिस्थापन लागत को कम करता है, दीर्घकालिक विश्वसनीयता और परिचालन दक्षता सुनिश्चित करता है।

ईपीआई प्री हीट रिंग की स्थापना और संचालन सीधा है, क्योंकि यह सामान्य ईपीआई उपकरण के साथ संगत है। इसमें उपयोगकर्ता के अनुकूल वेफर प्लेसमेंट और पुनर्प्राप्ति तंत्र की सुविधा है, जो सुविधा और परिचालन दक्षता को बढ़ाता है।

वीटेक सेमीकंडक्टर में, हम विशिष्ट ग्राहक आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलन सेवाएं भी प्रदान करते हैं। इसमें अद्वितीय उत्पादन आवश्यकताओं के अनुरूप ईपीआई प्री हीट रिंग के आकार, आकार और तापमान रेंज को तैयार करना शामिल है।

एपिटैक्सियल विकास और सेमीकंडक्टर डिवाइस उत्पादन में शामिल शोधकर्ताओं और निर्माताओं के लिए, वीटेक सेमीकंडक्टर द्वारा ईपीआई प्री हीट रिंग असाधारण प्रदर्शन और विश्वसनीय समर्थन प्रदान करता है। यह उच्च-गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास को प्राप्त करने और कुशल अर्धचालक उपकरण निर्माण प्रक्रियाओं को सुविधाजनक बनाने में एक महत्वपूर्ण उपकरण के रूप में कार्य करता है।

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति	विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
घनत्व	3.21 ग्राम/सेमी³
कठोरता	2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
ताप की गुंजाइश	640 जे·किग्रा-1·के-1
उर्ध्वपातन तापमान	2700℃
आनमनी सार्मथ्य	415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग मापांक	430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃
ऊष्मीय चालकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (सीटीई)	4.5×10-6K-1