ईपीआई प्राप्तकर्ता

वीटेक सेमीकंडक्टर एक पेशेवर अग्रणी चीन ईपीआई रिसीवर, एएलडी प्लैनेटरी रिसीवर और टीएसी कोटेड ग्रेफाइट रिसीवर निर्माता है। और हमारा ईपीआई ससेप्टर एक महत्वपूर्ण घटक हैएपिटैक्सियल वृद्धिअर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में. इसका मुख्य कार्य वेफर को सहारा देना और गर्म करना है ताकि वेफर सतह पर एक उच्च गुणवत्ता वाली एपिटैक्सियल परत समान रूप से उगाई जा सके।

वीटेक सेमीकंडक्टर्स के ईपीआई रिसेप्टर्स आमतौर पर उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से बने होते हैं और सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) की एक परत के साथ लेपित होते हैं।इस डिज़ाइन के निम्नलिखित प्रमुख लाभ हैं:

● उच्च तापमान स्थिरता: ईपीआई अतिसंवेदनशील उच्च तापमान वाले वातावरण में स्थिर रह सकता है, जिससे एपिटैक्सियल परत की समान वृद्धि सुनिश्चित होती है।

● संक्षारण प्रतिरोध: SiC कोटिंग में उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध है और यह रासायनिक गैसों के क्षरण का विरोध कर सकता है, जिससे ट्रे की सेवा जीवन बढ़ जाता है।

● तापीय चालकता: SiC सामग्री की उच्च तापीय चालकता हीटिंग के दौरान वेफर का समान तापमान वितरण सुनिश्चित करती है, जिससे एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता में सुधार होता है।

● थर्मल विस्तार गुणांक मिलान: SiC का थर्मल विस्तार गुणांक ग्रेफाइट के समान है, जो थर्मल विस्तार और संकुचन के कारण कोटिंग शेडिंग की समस्या से बचाता है।

के बुनियादी भौतिक गुणसीवीडी एसआईसी कोटिंग:

सीवीडी एसआईसी कोटिंग उत्पादन दुकान:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन: