चीन ठोस सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता, आपूर्तिकर्ता, फ़ैक्टरी

वीटेक सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड में एक महत्वपूर्ण सिरेमिक घटक है (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) नक़्क़ाशी उपकरण में भाग शामिल हैंध्यान केंद्रित करने वाले छल्ले, गैस शॉवरहेड, ट्रे, किनारे के छल्ले, आदि। ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) की क्लोरीन और फ्लोरीन युक्त नक़्क़ाशी गैसों की कम प्रतिक्रियाशीलता और चालकता के कारण, यह रिंगों और अन्य पर ध्यान केंद्रित करने वाले प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण के लिए एक आदर्श सामग्री है अवयव।

उदाहरण के लिए, फोकस रिंग वेफर के बाहर और वेफर के सीधे संपर्क में रखा जाने वाला एक महत्वपूर्ण हिस्सा है, रिंग के माध्यम से गुजरने वाले प्लाज्मा पर ध्यान केंद्रित करने के लिए रिंग पर वोल्टेज लगाकर, जिससे एकरूपता में सुधार के लिए वेफर पर प्लाज्मा को केंद्रित किया जाता है। प्रसंस्करण. पारंपरिक फोकस रिंग सिलिकॉन से बनी होती हैक्वार्ट्ज, प्रवाहकीय सिलिकॉन एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री के रूप में, यह सिलिकॉन वेफर्स की चालकता के लगभग करीब है, लेकिन कमी फ्लोरीन युक्त प्लाज्मा में खराब नक़्क़ाशी प्रतिरोध है, नक़्क़ाशी मशीन भागों सामग्री अक्सर समय की अवधि के लिए उपयोग की जाती है, गंभीर होगी संक्षारण घटना, इसकी उत्पादन क्षमता को गंभीर रूप से कम कर देती है।

Sठोस SiC फोकस रिंगकाम के सिद्धांत：

और आधारित फोकसिंग रिंग और CVD SiC फोकसिंग रिंग की तुलना：