सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग

वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगअत्यधिक कठोर और पहनने के लिए प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सामग्री से बना एक उच्च प्रदर्शन सुरक्षात्मक कोटिंग है, जो उत्कृष्ट रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापमान स्थिरता प्रदान करता है। ये गुण अर्धचालक उत्पादन में महत्वपूर्ण हैं, इसलिए सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग का व्यापक रूप से अर्धचालक विनिर्माण उपकरण के प्रमुख घटकों पर उपयोग किया जाता है।

सेमीकंडक्टर उत्पादन में वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग द्वारा निभाई गई विशिष्ट भूमिका हैनिम्नलिखित नुसार:

उपकरण स्थायित्व बढ़ाएँ: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग अपनी अत्यधिक उच्च कठोरता और पहनने के प्रतिरोध के साथ अर्धचालक विनिर्माण उपकरण के लिए उत्कृष्ट सतह सुरक्षा प्रदान करती है। विशेष रूप से उच्च तापमान, अत्यधिक संक्षारक प्रक्रिया वातावरण, जैसे कि रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) और प्लाज्मा नक़्क़ाशी में, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग रासायनिक क्षरण या भौतिक पहनने के कारण उपकरण की सतह को होने वाले नुकसान को प्रभावी ढंग से रोक सकती है, जिससे सेवा जीवन में काफी वृद्धि हो सकती है। उपकरण और बार-बार प्रतिस्थापन और रखरखाव के कारण होने वाले डाउनटाइम को कम करना।

प्रक्रिया शुद्धता में सुधार करें: सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, कोई भी छोटा संदूषण उत्पाद दोष का कारण बन सकता है। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग की रासायनिक जड़ता इसे चरम परिस्थितियों में स्थिर रहने, सामग्री को कणों या अशुद्धियों को छोड़ने से रोकने और प्रक्रिया के दौरान पर्यावरण की शुद्धता सुनिश्चित करने की अनुमति देती है। यह उन विनिर्माण चरणों के लिए विशेष रूप से महत्वपूर्ण है जिनके लिए उच्च परिशुद्धता और उच्च सफाई की आवश्यकता होती है, जैसे कि पीईसीवीडी और आयन प्रत्यारोपण।

थर्मल प्रबंधन को अनुकूलित करें: उच्च तापमान वाले अर्धचालक प्रसंस्करण में, जैसे कि तीव्र तापीय प्रसंस्करण (आरटीपी) और ऑक्सीकरण प्रक्रियाएं, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग की उच्च तापीय चालकता उपकरण के अंदर एक समान तापमान वितरण को सक्षम बनाती है। यह तापमान में उतार-चढ़ाव के कारण होने वाले थर्मल तनाव और सामग्री विरूपण को कम करने में मदद करता है, जिससे उत्पाद निर्माण सटीकता और स्थिरता में सुधार होता है।

जटिल प्रक्रिया वातावरण का समर्थन करें: ऐसी प्रक्रियाओं में जिनके लिए जटिल वातावरण नियंत्रण की आवश्यकता होती है, जैसे कि आईसीपी नक़्क़ाशी और पीएसएस नक़्क़ाशी प्रक्रिया, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर की स्थिरता और ऑक्सीकरण प्रतिरोध दीर्घकालिक संचालन में उपकरण के स्थिर प्रदर्शन को सुनिश्चित करता है, जिससे सामग्री या उपकरण के क्षरण का जोखिम कम हो जाता है। पर्यावरणीय परिवर्तनों के कारण क्षति।

वेटेक सेमीकंडक्टरउच्च प्रदर्शन वाले विनिर्माण और आपूर्ति पर ध्यान केंद्रित करता हैसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग, और सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए उन्नत प्रौद्योगिकी और उत्पाद समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है।हम ईमानदारी से चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा करते हैं.

के बुनियादी भौतिक गुणसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग:

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