सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर

वीटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरउच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध और सिलिकॉन कार्बन सिरेमिक कोटिंग के पहनने के प्रतिरोध के साथ ग्रेफाइट की उत्कृष्ट विद्युत और थर्मल चालकता को जोड़ती है, और कठोर अर्धचालक विनिर्माण वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया है। 

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरमुख्य रूप से वैक्यूम कोटिंग (वाष्पीकरण) उपकरण में उपयोग किया जाता है, और आमतौर पर उपयोग की जाने वाली विधियां पीसीडी (प्लाज्मा रासायनिक सुखाने) और पीवीडी (भौतिक वाष्प जमाव) हैं। इस उत्पाद ने सेमीकंडक्टर उद्योग में तकनीकी प्रगति को बढ़ावा देने और उत्पादन दक्षता में सुधार करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाई है।हम ईमानदारी से आपके साथ आगे सहयोग की आशा करते हैं.

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर की सामग्री और संरचनात्मक विशेषताएं इस प्रकार हैं:

ग्रेफाइट सब्सट्रेट: ग्रेफाइट अपनी उच्च तापीय चालकता और कम तापीय विस्तार गुणांक के लिए जाना जाता है। यह तापमान परिवर्तन पर तुरंत प्रतिक्रिया कर सकता है और उच्च तापमान पर संरचनात्मक स्थिरता बनाए रख सकता है।

सिलिकॉन कार्बन सिरेमिक कोटिंग: SiC कोटिंग को रासायनिक वाष्प जमाव या अन्य उन्नत प्रक्रियाओं के माध्यम से ग्रेफाइट सतह पर समान रूप से लेपित किया जाता है। SiC में अत्यधिक उच्च कठोरता और रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध है, जो ग्रेफाइट सब्सट्रेट को उच्च तापमान ऑक्सीकरण और संक्षारक वातावरण से बचा सकता है।

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर का विशेष उत्पाद संरचनात्मक डिजाइन निर्धारित करता हैअर्धचालक प्रसंस्करण प्रक्रिया में इस उत्पाद के अपूरणीय उत्पाद लाभ:

कुशल और समान तापन:

ऊष्मीय चालकता: ग्रेफाइट की उच्च तापीय चालकता हीटर को आवश्यक तापमान तक जल्दी पहुंचने और बनाए रखने में सक्षम बनाती है, और SiC कोटिंग गर्मी का समान वितरण सुनिश्चित करती है। यह उन अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए विशेष रूप से महत्वपूर्ण है जिनके लिए सटीक तापमान नियंत्रण की आवश्यकता होती है, जैसे कि तीव्र तापीय प्रसंस्करण (आरटीपी) और रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी)।

तापमान एकरूपता: समान ताप वितरण के माध्यम से, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर थर्मल तनाव और तापमान प्रवणता को प्रभावी ढंग से कम कर सकता है, जिससे हीटिंग प्रक्रिया के दौरान सेमीकंडक्टर वेफर्स की स्थिरता और गुणवत्ता स्थिरता सुनिश्चित होती है।

संक्षारण रोधी सुरक्षा:

रासायनिक प्रतिरोध: SiC कोटिंग का रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध हीटर को संक्षारक गैस और रासायनिक वातावरण में स्थिर रूप से और लंबे समय तक संचालित करने में सक्षम बनाता है, जिससे ग्रेफाइट सब्सट्रेट को नुकसान से बचाया जा सकता है। यह सुविधा रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) और प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (पीईसीवीडी) जैसी प्रक्रियाओं में विशेष रूप से महत्वपूर्ण है।

ऑक्सीकरण प्रतिरोध: उच्च तापमान पर, SiC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट के ऑक्सीकरण को रोक सकती है, हीटर की सेवा जीवन को बढ़ा सकती है, और उपकरण रखरखाव की आवृत्ति और लागत को कम कर सकती है।

कण संदूषण कम करें:

सतह की स्थिरता: SiC कोटिंग न केवल पहनने के लिए प्रतिरोधी है, बल्कि थर्मल साइक्लिंग या रासायनिक प्रतिक्रियाओं के कारण कणों को सामग्री की सतह से गिरने से भी रोकती है, जिससे सेमीकंडक्टर निर्माण के दौरान होने वाले कण संदूषण का खतरा कम हो जाता है और उच्च-स्वच्छता प्रक्रिया वातावरण सुनिश्चित होता है।

प्रक्रिया की विश्वसनीयता और दक्षता में सुधार करें:

लंबे समय तक चलने वाला डिज़ाइन: ग्रेफाइट की यांत्रिक शक्ति और SiC कोटिंग के पहनने के प्रतिरोध के संयोजन के कारण, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर कठोर प्रक्रिया स्थितियों के तहत लंबे समय तक उच्च दक्षता संचालन को बनाए रख सकता है, जिससे उपकरण की समग्र विश्वसनीयता में काफी सुधार होता है।

कुशल ऊर्जा उपयोग: ग्रेफाइट की उच्च तापीय चालकता और SiC कोटिंग की उच्च तापमान स्थिरता हीटर को तापमान नियंत्रण सटीकता में सुधार करते हुए ऊर्जा खपत को कम करने में सक्षम बनाती है, जिससे अर्धचालक उत्पादन की समग्र दक्षता में सुधार होता है।

के बुनियादी भौतिक गुणसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर:

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