सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर

वीटेक सेमीकंडक्टरसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर उच्च तापमान और कठोर वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया हीटर है। यह उपकरण को उत्कृष्ट ताप प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध और तापीय चालकता प्रदान करने के लिए हीटिंग तत्व की सतह पर सिलिकॉन कार्बन सिरेमिक कोटिंग (SiC) की एक परत चढ़ाता है। 

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरमुख्य रूप से वैक्यूम कोटिंग (वाष्पीकरण) उपकरण में उपयोग किया जाता है। आमतौर पर उपयोग की जाने वाली विधियाँ PCD (प्लाज्मा केमिकल ड्राईिंग) और PVD (भौतिक वाष्प जमाव) हैं, जिनका व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण और अन्य उच्च-मांग वाले औद्योगिक अनुप्रयोगों में उपयोग किया जाता है।

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर के उच्च प्रदर्शन कोटिंग डिजाइन के साथ संयुक्त,यह उच्च तापमान प्रक्रियाओं के लिए एक उत्कृष्ट हीटिंग समाधान प्रदान कर सकता है.

उत्कृष्ट तापीय चालकता: SiC सामग्री में उत्कृष्ट तापीय चालकता है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि हीटर कार्य क्षेत्र में समान ताप वितरण प्राप्त कर सकता है और तापमान प्रवणता को कम कर सकता है।

समान ताप वितरण प्रदान करें: सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर पूरे हीटिंग क्षेत्र में समान तापमान वितरण प्राप्त करने के लिए SiC सामग्री की उच्च तापीय चालकता का उपयोग करता है। स्थानीय ओवरहीटिंग या असमान तापमान के कारण होने वाले उत्पाद दोषों से बचने के लिए, रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी), प्रसार और ऑक्सीकरण जैसी विभिन्न उच्च तापमान प्रक्रियाओं में सेमीकंडक्टर वेफर्स का एक समान ताप उपचार सुनिश्चित करना महत्वपूर्ण है।

उच्च तापमान सहनशीलता: SiC कोटिंग हीटर को अत्यधिक उच्च तापमान, आमतौर पर 1600 डिग्री सेल्सियस तक का सामना करने में सक्षम बनाती है, जो विभिन्न उच्च तापमान प्रसंस्करण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है।

गर्मी प्रतिरोध में सुधार करें: क्योंकि कोटिंग अत्यधिक उच्च तापमान का सामना कर सकती है, यह उन प्रक्रियाओं में अच्छा प्रदर्शन करती है जिनके लिए दीर्घकालिक उच्च तापमान संचालन की आवश्यकता होती है। उदाहरण के लिए, रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रियाओं में, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर उच्च तापमान पर उपकरण के दीर्घकालिक स्थिर संचालन को सुनिश्चित कर सकता है और लगातार हीटिंग प्रदर्शन बनाए रख सकता है, जिससे प्रक्रिया की पुनरावृत्ति और विश्वसनीयता में सुधार होता है।

रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध: SiC कोटिंग में एसिड, क्षार और संक्षारक गैसों के प्रति अत्यधिक उच्च प्रतिरोध होता है, और जटिल रासायनिक वातावरण में लंबे समय तक स्थिर रह सकता है, जिससे उपकरण का जीवन बढ़ जाता है। 

उपकरण का जीवन बढ़ाना: SiC कोटिंग में उत्कृष्ट ऑक्सीकरण प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध होता है, और यह उच्च तापमान पर रासायनिक क्षरण और ऑक्सीकरण का प्रभावी ढंग से विरोध कर सकता है। सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में यह बहुत महत्वपूर्ण है, विशेष रूप से ऐसे वातावरण में जो संक्षारक गैसों और रसायनों को संभालता है। कोटिंग का सुरक्षात्मक प्रभाव हीटर की सेवा जीवन को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ा सकता है और उपकरण प्रतिस्थापन और रखरखाव लागत की आवृत्ति को कम कर सकता है।

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर के बुनियादी भौतिक गुण:

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