VeTek सेमीकंडक्टर का उत्पाद, SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ प्रोसेस के लिए टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग उत्पाद, सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) क्रिस्टल के विकास इंटरफ़ेस से जुड़ी चुनौतियों का समाधान करता है, विशेष रूप से क्रिस्टल के किनारे पर होने वाले व्यापक दोषों का। TaC कोटिंग लगाने से, हमारा लक्ष्य क्रिस्टल विकास की गुणवत्ता में सुधार करना और क्रिस्टल के केंद्र के प्रभावी क्षेत्र को बढ़ाना है, जो तेज़ और मोटी वृद्धि प्राप्त करने के लिए महत्वपूर्ण है।
TaC कोटिंग उच्च गुणवत्ता वाले SiC सिंगल क्रिस्टल विकास प्रक्रिया के लिए एक मुख्य तकनीकी समाधान है। हमने रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) का उपयोग करके सफलतापूर्वक टीएसी कोटिंग तकनीक विकसित की है, जो अंतरराष्ट्रीय स्तर पर उन्नत स्तर पर पहुंच गई है। TaC में असाधारण गुण हैं, जिनमें 3880°C तक का उच्च गलनांक, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति, कठोरता और थर्मल शॉक प्रतिरोध शामिल हैं। उच्च तापमान और अमोनिया, हाइड्रोजन और सिलिकॉन युक्त भाप जैसे पदार्थों के संपर्क में आने पर यह अच्छी रासायनिक जड़ता और थर्मल स्थिरता प्रदर्शित करता है।
VeTek सेमीकंडक्टर की टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रिया में किनारे से संबंधित मुद्दों को संबोधित करने के लिए एक समाधान प्रदान करती है, जिससे विकास प्रक्रिया की गुणवत्ता और दक्षता में सुधार होता है। हमारी उन्नत TaC कोटिंग तकनीक के साथ, हमारा लक्ष्य तीसरी पीढ़ी के सेमीकंडक्टर उद्योग के विकास का समर्थन करना और आयातित प्रमुख सामग्रियों पर निर्भरता को कम करना है।
TaC कोटेड क्रूसिबल, TaC कोटिंग के साथ बीज धारक, TaC कोटिंग गाइड रिंग PVT विधि द्वारा SiC और AIN सिंगल क्रिस्टल भट्टी में महत्वपूर्ण भाग हैं।
-उच्च तापमान प्रतिरोध
-उच्च शुद्धता, SiC कच्चे माल और SiC एकल क्रिस्टल को प्रदूषित नहीं करेगी।
-एएल भाप और एन₂संक्षारण के लिए प्रतिरोधी
-क्रिस्टल तैयारी चक्र को छोटा करने के लिए उच्च यूटेक्टिक तापमान (AlN के साथ)।
-पुनर्चक्रण योग्य (200 घंटे तक), यह ऐसे एकल क्रिस्टल की तैयारी की स्थिरता और दक्षता में सुधार करता है।
TaC कोटिंग के भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (ग्राम/सेमी³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | 6.3 10-6/के |
कठोरता (एचके) | 2000 एच.के |
प्रतिरोध | 1×10-5 ओम*सेमी |
तापीय स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है | -10~-20um |
परत की मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |
VeTek सेमीकंडक्टर चीन में एक अग्रणी TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर निर्माता और प्रर्वतक है। हम कई वर्षों से SiC और TaC कोटिंग में विशेषज्ञता रखते हैं। हमारे TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कैरियर में उच्च तापमान प्रतिरोध और पहनने के लिए प्रतिरोधी है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।
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