SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब

SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब का कार्यशील योजनाबद्ध आरेख

VeTek सेमीकंडक्टर SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब के निम्नलिखित उत्पाद लाभ हैं:

उत्कृष्ट उच्च तापमान यांत्रिक गुण: SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब में किसी भी ज्ञात सिरेमिक सामग्री की तुलना में सर्वोत्तम उच्च तापमान यांत्रिक गुण हैं, जिसमें उत्कृष्ट ताकत और रेंगना प्रतिरोध शामिल है। यह इसे उच्च तापमान पर दीर्घकालिक स्थिरता की आवश्यकता वाले अनुप्रयोगों के लिए विशेष रूप से उपयुक्त बनाता है।

उत्कृष्ट ऑक्सीकरण प्रतिरोध: VeTek सेमीकंडक्टर की SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब में उत्कृष्ट ऑक्सीकरण प्रतिरोध है, जो सभी गैर-ऑक्साइड सिरेमिक में सबसे अच्छा है। यह गुण उच्च तापमान वाले वातावरण में दीर्घकालिक स्थिरता और प्रदर्शन सुनिश्चित करता है, गिरावट के जोखिम को कम करता है और ट्यूब के जीवन को बढ़ाता है।

● उच्च लचीली ताकत: VeTekSemi SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब में 200MPa से अधिक की लचीली ताकत होती है, जो सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं की विशिष्ट उच्च तनाव स्थितियों के तहत उत्कृष्ट यांत्रिक गुणों और संरचनात्मक अखंडता को सुनिश्चित करती है।

● उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोधीe: SiC फर्नेस ट्यूब की रासायनिक जड़ता उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करती है, जो इन ट्यूबों को अर्धचालक प्रसंस्करण में अक्सर आने वाले कठोर रासायनिक वातावरण में उपयोग के लिए आदर्श बनाती है।

● उच्च पहनने का प्रतिरोध: SiC ट्यूब भट्टियों में मजबूत पहनने का प्रतिरोध होता है, जो घर्षण स्थितियों में लंबे समय तक उपयोग किए जाने पर आयामी स्थिरता बनाए रखने और रखरखाव आवश्यकताओं को कम करने के लिए आवश्यक है।

● सीवीडी कोटिंग के साथ: वीटेक सेमीकंडक्टर रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) एसआईसी कोटिंग का शुद्धता स्तर 99.9995% से अधिक, अशुद्धता सामग्री 5 पीपीएम से कम और हानिकारक धातु अशुद्धियां 1 पीपीएम से कम है। सीवीडी कोटिंग प्रक्रिया यह सुनिश्चित करती है कि ट्यूब 2-3Torr की सख्त वैक्यूम जकड़न आवश्यकताओं को पूरा करती है, जो उच्च-परिशुद्धता अर्धचालक विनिर्माण वातावरण के लिए महत्वपूर्ण है।

● प्रसार भट्टियों में अनुप्रयोग: ये सिक ट्यूब अर्धचालक प्रसार भट्टियों के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, जहां वे डोपिंग और ऑक्सीकरण जैसी उच्च तापमान प्रक्रियाओं में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। उनके उन्नत भौतिक गुण यह सुनिश्चित करते हैं कि वे इन प्रक्रियाओं की कठोर परिस्थितियों का सामना कर सकते हैं, जिससे अर्धचालक उत्पादन की दक्षता और विश्वसनीयता में सुधार होता है।

वीटेक सेमीकंडक्टर लंबे समय से सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए उन्नत प्रौद्योगिकी और उत्पाद समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है, और पेशेवर अनुकूलित सेवाओं का समर्थन करता है। वीटेक सेमीकंडक्टर के SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब को चुनने पर, आपको आधुनिक सेमीकंडक्टर निर्माण की विभिन्न आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए उत्कृष्ट प्रदर्शन और उच्च विश्वसनीयता वाला उत्पाद मिलेगा। हम ईमानदारी से चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा करते हैं।

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