VeTek सेमीकंडक्टर चीन में SiC लेपित सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव के लिए पेशेवर निर्माता और आपूर्तिकर्ता है, अनुसंधान एवं विकास और उत्पादन में वर्षों के अनुभव के साथ, गुणवत्ता को अच्छी तरह से नियंत्रित कर सकता है और प्रतिस्पर्धी मूल्य की पेशकश कर सकता है। हमारे कारखाने का दौरा करने और सहयोग पर आगे की चर्चा के लिए आपका स्वागत है।
VeTek सेमीकंडक्टर चीन का निर्माता और आपूर्तिकर्ता है जो कई वर्षों के अनुभव के साथ मुख्य रूप से SiC कोटेड सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट का उत्पादन करता है। आपके साथ व्यावसायिक संबंध बनाने की आशा है।SiC लेपित सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव का उपयोग अर्धचालक प्रसार भट्टियों में आयन प्रत्यारोपण, प्रसार और एनीलिंग जैसी विभिन्न उच्च तापमान प्रक्रियाओं के लिए वेफर्स ले जाने के लिए किया जाता है। यह वेफर्स के लिए एक स्थिर वातावरण प्रदान कर सकता है, प्रसंस्करण के दौरान तापमान की एकरूपता और स्थिरता सुनिश्चित कर सकता है।
SiC लेपित सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नौकाओं में उच्च ताप प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता होती है, जो उन्हें उच्च तापमान पर संचालित करने और लंबे समय तक चलने की अनुमति देती है। इसके अतिरिक्त, उनमें सामग्री वाष्पीकरण दर और गैस सोखने की दर कम होती है, जिससे वेफर प्रसंस्करण पर अशुद्धियों के प्रभाव को कम करने में मदद मिलती है।
हम विभिन्न प्रकार की सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव जैसे क्षैतिज वेफर नाव, ऊर्ध्वाधर वेफर नाव और किसी भी अन्य अनुकूलित नाव का निर्माण कर सकते हैं।
1.उच्च तापमान स्थिरता
2.रासायनिक जड़ता
3.कम अशुद्धता सामग्री
4. तापीय चालकता
पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण | |
संपत्ति | विशिष्ट मूल्य |
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस) | 1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (घटाने वाला वातावरण) |
SiC सामग्री | > 99.96% |
निःशुल्क सी सामग्री | <0.1% |
थोक घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
स्पष्ट सरंध्रता | <16% |
संपीड़न ताकत | > 600 एमपीए |
ठंडी झुकने की ताकत | 80-90 एमपीए (20°C) |
गर्म झुकने की शक्ति | 90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस) |
थर्मल विस्तार @1500°C | 4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस |
तापीय चालकता @1200°C | 23 डब्ल्यू/एम•के |
लोचदार मापांक | 240 जीपीए |
थर्मल शॉक प्रतिरोध | बहुत ही अच्छा |