MOCVD के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर

एमओसीवीडी के लिए VeTek सेमीकंडक्टर का SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर एक उच्च शुद्धता वाला SiC कोटेड ग्रेफाइट कैरियर है, जिसे विशेष रूप से वेफर चिप्स पर एपिटैक्सियल परत के विकास के लिए डिज़ाइन किया गया है। एमओसीवीडी प्रसंस्करण में एक केंद्रीय घटक के रूप में, आमतौर पर गियर या रिंग के आकार का, यह असाधारण गर्मी प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध का दावा करता है, जो चरम वातावरण में स्थिरता सुनिश्चित करता है।

एमओसीवीडी SiC लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर की मुख्य विशेषताएं:

● फ्लेक-प्रतिरोधी कोटिंग: सभी सतहों पर एक समान SiC कोटिंग कवरेज सुनिश्चित करता है, जिससे कण अलग होने का जोखिम कम हो जाता है

● उत्कृष्ट उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोधce: 1600°C तक तापमान पर स्थिर रहता है

●  उच्च शुद्धता: सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव के माध्यम से निर्मित, उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के लिए उपयुक्त

● बेहतर संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, लवण और कार्बनिक अभिकर्मकों के प्रति अत्यधिक प्रतिरोधी

●   अनुकूलित लैमिनर एयरफ्लो पैटर्न: वायु प्रवाह गतिशीलता की एकरूपता को बढ़ाता है

●   समान थर्मल वितरण: उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान स्थिर ताप वितरण सुनिश्चित करता है

●  संदूषण निवारण: प्रदूषकों या अशुद्धियों के प्रसार को रोकता है, वेफर की सफाई सुनिश्चित करता है

वीटेक सेमीकंडक्टर में, हम सख्त गुणवत्ता मानकों का पालन करते हैं, अपने ग्राहकों को विश्वसनीय उत्पाद और सेवाएँ प्रदान करते हैं। हम केवल प्रीमियम सामग्रियों का चयन करते हैं, उद्योग की प्रदर्शन आवश्यकताओं को पूरा करने और उनसे आगे निकलने का प्रयास करते हैं। एमओसीवीडी के लिए हमारा एसआईसी लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर गुणवत्ता के प्रति इस प्रतिबद्धता का उदाहरण है। हम आपकी सेमीकंडक्टर वेफर प्रसंस्करण आवश्यकताओं का समर्थन कैसे कर सकते हैं, इसके बारे में अधिक जानने के लिए हमसे संपर्क करें।

सीवीडी एसआईसी फिल्म क्रिस्टल संरचना:

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

वीटेक सेमीकंडक्टर एमओसीवीडी SiC लेपित ग्रेफाइट रिसेप्टर: