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SiC लेपित डीप UV LED ससेप्टर
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SiC लेपित डीप UV LED ससेप्टर

SiC लेपित डीप UV LED ससेप्टर को MOCVD प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है ताकि कुशल और स्थिर डीप UV LED एपिटैक्सियल परत विकास का समर्थन किया जा सके। VeTek सेमीकंडक्टर चीन में SiC कोटेड डीप UV LED ससेप्टर का अग्रणी निर्माता और आपूर्तिकर्ता है। हमारे पास समृद्ध अनुभव है और हमने कई एलईडी एपिटैक्सियल निर्माताओं के साथ दीर्घकालिक सहकारी संबंध स्थापित किए हैं। हम एलईडी के लिए ससेप्टर उत्पादों के शीर्ष घरेलू निर्माता हैं। वर्षों के सत्यापन के बाद, हमारे उत्पाद का जीवन काल शीर्ष अंतरराष्ट्रीय निर्माताओं के बराबर है। आपकी पूछताछ की प्रतीक्षा में हूं.

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उत्पाद वर्णन

SiC लेपित डीप UV LED ससेप्टर इसका मुख्य असर घटक हैMOCVD (धातु कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव) उपकरण. सेसेप्टर सीधे गहरे यूवी एलईडी एपिटैक्सियल विकास की एकरूपता, मोटाई नियंत्रण और सामग्री की गुणवत्ता को प्रभावित करता है, विशेष रूप से उच्च एल्यूमीनियम सामग्री के साथ एल्यूमीनियम नाइट्राइड (एएलएन) एपिटैक्सियल परत के विकास में, सेसेप्टर का डिजाइन और प्रदर्शन महत्वपूर्ण है।


SiC लेपित डीप UV LED ससेप्टर को विशेष रूप से डीप UV LED एपिटैक्सी के लिए अनुकूलित किया गया है, और इसे कठोर प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए थर्मल, मैकेनिकल और रासायनिक पर्यावरणीय विशेषताओं के आधार पर सटीक रूप से डिज़ाइन किया गया है।


वीटेक सेमीकंडक्टर ऑपरेटिंग तापमान सीमा के भीतर ससेप्टर के समान ताप वितरण को सुनिश्चित करने के लिए उन्नत प्रसंस्करण तकनीक का उपयोग करता है, जिससे तापमान प्रवणता के कारण एपिटैक्सियल परत की गैर-समान वृद्धि से बचा जा सकता है। परिशुद्धता प्रसंस्करण सतह की खुरदरापन को नियंत्रित करता है, कण संदूषण को कम करता है, और वेफर सतह संपर्क की तापीय चालकता दक्षता में सुधार करता है।


वीटेक सेमीकंडक्टर सामग्री के रूप में एसजीएल ग्रेफाइट का उपयोग करता है, और सतह का उपचार किया जाता हैसीवीडी SiC कोटिंग, जो लंबे समय तक NH3, HCl और उच्च तापमान वाले वातावरण का सामना कर सकता है। VeTek सेमीकंडक्टर का SiC लेपित डीप UV LED ससेप्टर AlN/GaN एपिटैक्सियल वेफर्स के थर्मल विस्तार गुणांक से मेल खाता है, जो प्रक्रिया के दौरान थर्मल तनाव के कारण होने वाले वेफर रैपिंग या क्रैकिंग को कम करता है।


सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि VeTek सेमीकंडक्टर का SiC कोटेड डीप UV LED ससेप्टर मुख्यधारा के MOCVD उपकरण (Veeco K465i, EPIK 700, Aixtron Crius, आदि सहित) के लिए पूरी तरह से अनुकूल है। वेफर आकार (2~8 इंच), वेफर स्लॉट डिजाइन, प्रक्रिया तापमान और अन्य आवश्यकताओं के लिए अनुकूलित सेवाओं का समर्थन करता है।


अनुप्रयोग परिदृश्य:


गहरी यूवी एलईडी तैयारी260 एनएम (यूवी-सी कीटाणुशोधन, नसबंदी और अन्य क्षेत्रों) से नीचे बैंड में उपकरणों की एपिटैक्सियल प्रक्रिया के लिए लागू।

नाइट्राइड सेमीकंडक्टर एपिटैक्सीगैलियम नाइट्राइड (GaN) और एल्यूमीनियम नाइट्राइड (AlN) जैसे अर्धचालक पदार्थों की एपिटैक्सियल तैयारी के लिए उपयोग किया जाता है।

अनुसंधान-स्तरीय एपिटैक्सियल प्रयोगविश्वविद्यालयों और अनुसंधान संस्थानों में गहन यूवी एपिटेक्सी और नए सामग्री विकास प्रयोग।


एक मजबूत तकनीकी टीम के समर्थन से, वीटेक सेमीकंडक्टर ग्राहकों की जरूरतों के अनुसार अद्वितीय विशिष्टताओं और कार्यों के साथ रिसेप्टर्स विकसित करने, विशिष्ट उत्पादन प्रक्रियाओं का समर्थन करने और दीर्घकालिक सेवाएं प्रदान करने में सक्षम है।


सीवीडी एसआईसी कोटिंग फिल्म का SEM डेटा:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

CVD SiC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण
संपत्ति
विशिष्ट मूल्य
क्रिस्टल की संरचना
एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
SiC कोटिंग घनत्व
3.21 ग्राम/सेमी³
CVD SiC कोटिंग कठोरता
2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार
2~10μm
रासायनिक शुद्धता
99.99995%
ताप की गुंजाइश
640 जे·किग्रा-1·के-1
उर्ध्वपातन तापमान
2700℃
आनमनी सार्मथ्य
415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग का मापांक
430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃
ऊष्मीय चालकता
300W·m-1·के-1
थर्मल विस्तार (सीटीई)
4.5×10-6K-1

वीटेक सेमीकंडक्टरSiC लेपित डीप UV LED ससेप्टर उत्पाद की दुकानें:

SiC coated deep UV LED susceptorSemiconductor process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment


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