एक्सट्रॉन एमओसीवीडी रिसेप्टर

ससेप्टर्स द्वारा निर्मितवेटेक सेमीकंडक्टरग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग सामग्री से बने होते हैं। उच्च पहनने के प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध और SiC सामग्री की अत्यधिक उच्च कठोरता को देखते हुए, यह कठोर प्रक्रिया वातावरण में उपयोग के लिए विशेष रूप से उपयुक्त है। इसलिए, वेटेक सेमीकंडक्टर द्वारा उत्पादित सुसेप्टर्स का उपयोग अतिरिक्त सतह उपचार के बिना सीधे उच्च तापमान एमओसीवीडी प्रक्रियाओं में किया जा सकता है।

सेमीकंडक्टर निर्माण में रिसेप्टर्स प्रमुख घटक हैं, विशेष रूप से पतली फिल्म जमाव प्रक्रियाओं के लिए एमओसीवीडी उपकरण में। की मुख्य भूमिका हैऐक्स्ट्रॉन SiC रिसीवरएमओसीवीडी प्रक्रिया में अर्धचालक वेफर्स ले जाना, समान गर्मी वितरण और प्रतिक्रिया वातावरण प्रदान करके पतली फिल्मों की एक समान और उच्च गुणवत्ता वाले जमाव को सुनिश्चित करना है, जिससे उच्च गुणवत्ता वाली पतली फिल्म का उत्पादन प्राप्त होता है।

एक्सट्रॉन एमओसीवीडी रिसेप्टरआमतौर पर जमाव प्रक्रिया के दौरान वेफर की स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए अर्धचालक वेफर्स के आधार को समर्थन और ठीक करने के लिए उपयोग किया जाता है। वहीं, ऐक्सट्रॉन एमओसीवीडी ससेप्टर की सतह कोटिंग सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) से बनी है, जो एक अत्यधिक तापीय प्रवाहकीय सामग्री है। SiC कोटिंग वेफर की सतह पर एक समान तापमान सुनिश्चित करती है, और उच्च गुणवत्ता वाली फिल्में प्राप्त करने के लिए एक समान हीटिंग आवश्यक है।

इसके अलावा,एक्सट्रॉन एमओसीवीडी रिसेप्टरहम सामग्रियों के अनुकूलित डिज़ाइन के माध्यम से प्रतिक्रियाशील गैसों के प्रवाह और वितरण को नियंत्रित करने में एक बड़ी भूमिका निभाते हैं। एकसमान फिल्म जमाव प्राप्त करने के लिए भंवर धाराओं और तापमान प्रवणताओं से बचें।

इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि एमओसीवीडी प्रक्रिया में, सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग सामग्री में संक्षारण प्रतिरोध होता है, इसलिएवेटेक सेमीकंडक्टर'एसएक्सट्रॉन एमओसीवीडी रिसेप्टरउच्च तापमान और संक्षारक गैसों का भी सामना कर सकता है।

के बुनियादी भौतिक गुणएसआईसी कोटिंग:

वीटेक सेमीकंडक्टर वेफर नाव की दुकानें:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन: