चीन ठोस सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता, आपूर्तिकर्ता, फ़ैक्टरी

वीटेक सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड में एक महत्वपूर्ण सिरेमिक घटक है (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) नक़्क़ाशी उपकरण में भाग शामिल हैंध्यान केंद्रित करने वाले छल्ले, गैस शॉवरहेड, ट्रे, किनारे के छल्ले, आदि। ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) की क्लोरीन और फ्लोरीन युक्त नक़्क़ाशी गैसों की कम प्रतिक्रियाशीलता और चालकता के कारण, यह रिंगों और अन्य पर ध्यान केंद्रित करने वाले प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण के लिए एक आदर्श सामग्री है अवयव।

उदाहरण के लिए, फोकस रिंग वेफर के बाहर और वेफर के सीधे संपर्क में रखा जाने वाला एक महत्वपूर्ण हिस्सा है, रिंग के माध्यम से गुजरने वाले प्लाज्मा पर ध्यान केंद्रित करने के लिए रिंग पर वोल्टेज लगाकर, जिससे एकरूपता में सुधार के लिए वेफर पर प्लाज्मा को केंद्रित किया जाता है। प्रसंस्करण. पारंपरिक फोकस रिंग सिलिकॉन से बनी होती हैक्वार्ट्ज, प्रवाहकीय सिलिकॉन एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री के रूप में, यह सिलिकॉन वेफर्स की चालकता के लगभग करीब है, लेकिन कमी फ्लोरीन युक्त प्लाज्मा में खराब नक़्क़ाशी प्रतिरोध है, नक़्क़ाशी मशीन भागों सामग्री अक्सर समय की अवधि के लिए उपयोग की जाती है, गंभीर होगी संक्षारण घटना, इसकी उत्पादन क्षमता को गंभीर रूप से कम कर देती है।

Sठोस SiC फोकस रिंगकाम के सिद्धांत：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

और आधारित फोकसिंग रिंग और CVD SiC फोकसिंग रिंग की तुलना：

और आधारित फोकसिंग रिंग और CVD SiC फोकसिंग रिंग की तुलना
वस्तु	और	सीवीडी SiC
घनत्व (ग्राम/सेमी.)³)	2.33	3.21
बैंड गैप (eV)	1.12	2.3
तापीय चालकता (डब्ल्यू/सेमी℃)	1.5	5
सीटीई (x10^-6/℃)	2.6	4
लोचदार मापांक (जीपीए)	150	440
कठोरता (जीपीए)	11.4	24.5
पहनने और संक्षारण का प्रतिरोध	गरीब	उत्कृष्ट

वीटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए SiC फोकसिंग रिंग जैसे उन्नत ठोस सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड) भागों की पेशकश करता है। हमारे ठोस सिलिकॉन कार्बाइड फ़ोकसिंग रिंग यांत्रिक शक्ति, रासायनिक प्रतिरोध, तापीय चालकता, उच्च तापमान स्थायित्व और आयन नक़्क़ाशी प्रतिरोध के मामले में पारंपरिक सिलिकॉन से बेहतर प्रदर्शन करते हैं।

हमारे SiC फ़ोकसिंग रिंगों की मुख्य विशेषताओं में शामिल हैं:

कम नक़्क़ाशी दरों के लिए उच्च घनत्व।

उच्च बैंडगैप के साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।

उच्च तापीय चालकता और तापीय विस्तार का कम गुणांक।

बेहतर यांत्रिक प्रभाव प्रतिरोध और लोच।

उच्च कठोरता, पहनने का प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध।

का उपयोग करके निर्मितप्लाज्मा-संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव (PECVD)तकनीक, हमारे SiC फ़ोकसिंग रिंग सेमीकंडक्टर निर्माण में नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं की बढ़ती मांगों को पूरा करते हैं। इन्हें विशेष रूप से उच्च प्लाज्मा शक्ति और ऊर्जा का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया हैकैपेसिटिवली कपल्ड प्लाज़्मा (CCP)सिस्टम.

VeTek सेमीकंडक्टर के SiC फोकसिंग रिंग सेमीकंडक्टर डिवाइस निर्माण में असाधारण प्रदर्शन और विश्वसनीयता प्रदान करते हैं। बेहतर गुणवत्ता और दक्षता के लिए हमारे SiC घटकों को चुनें।

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चीन में एक पेशेवर ठोस सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता और आपूर्तिकर्ता के रूप में, हमारा अपना कारखाना है। चाहे आपको अपने क्षेत्र की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित सेवाओं की आवश्यकता हो या आप चीन में निर्मित उन्नत और टिकाऊ ठोस सिलिकॉन कार्बाइड खरीदना चाहते हों, आप हमें एक संदेश छोड़ सकते हैं।