टैंटलम कार्बाइड कोटिंग क्या है?

टैंटलम कार्बाइड (TaC) सिरेमिक सामग्री का गलनांक 3880 ℃ तक होता है और यह उच्च गलनांक और अच्छी रासायनिक स्थिरता वाला एक यौगिक है। यह उच्च तापमान वाले वातावरण में स्थिर प्रदर्शन बनाए रख सकता है। इसके अलावा, इसमें उच्च तापमान प्रतिरोध, रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध और कार्बन सामग्री के साथ अच्छी रासायनिक और यांत्रिक अनुकूलता भी है, जो इसे एक आदर्श ग्रेफाइट सब्सट्रेट सुरक्षात्मक कोटिंग सामग्री बनाती है। 

टैंटलम कार्बाइड कोटिंग कठोर उपयोग वाले वातावरण में गर्म अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प और पिघली हुई धातु के प्रभाव से ग्रेफाइट घटकों की प्रभावी ढंग से रक्षा कर सकती है, ग्रेफाइट घटकों की सेवा जीवन को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ा सकती है और ग्रेफाइट में अशुद्धियों के प्रवास को रोक सकती है, जिससे गुणवत्ता सुनिश्चित होती है।epitaxialऔरक्रिस्टल विकास.

चित्र 1. सामान्य टैंटलम कार्बाइड लेपित घटक

रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) ग्रेफाइट सतहों पर टीएसी कोटिंग्स के उत्पादन के लिए सबसे परिपक्व और इष्टतम तरीका है।

TaCl5 और प्रोपलीन को क्रमशः कार्बन और टैंटलम स्रोतों के रूप में और आर्गन को वाहक गैस के रूप में उपयोग करके, उच्च तापमान वाले वाष्पीकृत TaCl5 वाष्प को प्रतिक्रिया कक्ष में पेश किया जाता है। लक्ष्य तापमान और दबाव पर, पूर्ववर्ती सामग्री वाष्प ग्रेफाइट की सतह पर सोख लेती है, कार्बन और टैंटलम स्रोतों के अपघटन और संयोजन जैसी जटिल रासायनिक प्रतिक्रियाओं की एक श्रृंखला से गुजरती है, साथ ही प्रसार और विशोषण जैसी सतह प्रतिक्रियाओं की एक श्रृंखला से गुजरती है। पूर्ववर्ती के उप-उत्पाद। अंत में, ग्रेफाइट की सतह पर एक घनी सुरक्षात्मक परत बनती है, जो अत्यधिक पर्यावरणीय परिस्थितियों में ग्रेफाइट को स्थिर अस्तित्व से बचाती है और ग्रेफाइट सामग्री के अनुप्रयोग परिदृश्यों का महत्वपूर्ण रूप से विस्तार करती है।

चित्र 2.रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया सिद्धांत

वीटेक सेमीकंडक्टरमुख्य रूप से टैंटलम कार्बाइड उत्पाद प्रदान करता है: TaC गाइड रिंग, TaC लेपित तीन पंखुड़ी वाली रिंग, TaC कोटिंग क्रूसिबल, TaC कोटिंग झरझरा ग्रेफाइट व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है SiC क्रिस्टल विकास प्रक्रिया है; TaC लेपित के साथ झरझरा ग्रेफाइट, TaC लेपित गाइड रिंग, TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर कैरियर, TaC कोटिंग ससेप्टर्स, प्लैनेटरी ससेप्टर्स, TaC कोटेड सैटेलाइट ससेप्टर्स, और इन टैंटलम कार्बाइड कोटिंग उत्पादों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता हैSiC एपिटैक्सी प्रक्रियाऔरSiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रिया.

चित्र तीन।पशु चिकित्सकएक सेमीकंडक्टर के सबसे लोकप्रिय टैंटलम कार्बाइड कोटिंग उत्पाद