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TaC कोटिंग के साथ MOCVD ससेप्टर
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TaC कोटिंग के साथ MOCVD ससेप्टर

VeTek सेमीकंडक्टर एक व्यापक आपूर्तिकर्ता है जो TaC कोटिंग्स और SiC कोटिंग भागों के अनुसंधान, विकास, उत्पादन, डिजाइन और बिक्री में शामिल है। हमारी विशेषज्ञता TaC कोटिंग के साथ अत्याधुनिक MOCVD ससेप्टर के उत्पादन में निहित है, जो एलईडी एपिटैक्सी प्रक्रिया में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। हमारे साथ पूछताछ और अधिक जानकारी पर चर्चा करने के लिए हम आपका स्वागत करते हैं।

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VeTek सेमीकंडक्टर एक अग्रणी चीनी निर्माता, आपूर्तिकर्ता और निर्यातक है जो TaC कोटिंग के साथ MOCVD ससेप्टर में विशेषज्ञता रखता है। नवीनतम बिक्री, कम कीमत और TaC कोटिंग के साथ उच्च गुणवत्ता वाले MOCVD Susceptors खरीदने के लिए हमारे कारखाने में आने के लिए आपका स्वागत है। हम आपके साथ सहयोग करने के लिए तत्पर हैं।

एलईडी एपिटैक्सी को क्रिस्टल गुणवत्ता नियंत्रण, सामग्री चयन और मिलान, संरचनात्मक डिजाइन और अनुकूलन, प्रक्रिया नियंत्रण और स्थिरता, और प्रकाश निष्कर्षण दक्षता जैसी चुनौतियों का सामना करना पड़ता है। सही एपिटैक्सी वेफर वाहक सामग्री चुनना महत्वपूर्ण है, और इसे टैंटलम कार्बाइड (TaC) पतली फिल्म (TaC कोटिंग) के साथ कोटिंग करने से अतिरिक्त लाभ मिलता है।

एपिटेक्सी वेफर वाहक सामग्री का चयन करते समय, कई प्रमुख कारकों पर विचार करने की आवश्यकता होती है:

तापमान सहनशीलता और रासायनिक स्थिरता: एलईडी एपिटेक्सी प्रक्रियाओं में उच्च तापमान शामिल होता है और इसमें रसायनों का उपयोग शामिल हो सकता है। इसलिए, उच्च तापमान और रासायनिक वातावरण में वाहक की स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए अच्छे तापमान सहनशीलता और रासायनिक स्थिरता वाली सामग्रियों का चयन करना आवश्यक है।

सतह की समतलता और पहनने का प्रतिरोध: एपिटैक्सी वेफर वाहक की सतह में एपिटैक्सी वेफर के समान संपर्क और स्थिर विकास को सुनिश्चित करने के लिए अच्छी समतलता होनी चाहिए। इसके अतिरिक्त, सतह की क्षति और घर्षण को रोकने के लिए पहनने का प्रतिरोध महत्वपूर्ण है।

तापीय चालकता: अच्छी तापीय चालकता वाली सामग्री चुनने से गर्मी को प्रभावी ढंग से नष्ट करने में मदद मिलती है, एपिटेक्सी परत के लिए एक स्थिर विकास तापमान बनाए रखा जाता है और प्रक्रिया स्थिरता और स्थिरता में सुधार होता है।

इस संबंध में, एपिटैक्सी वेफर कैरियर को TaC के साथ कोटिंग करने से निम्नलिखित लाभ मिलते हैं:

उच्च तापमान स्थिरता: TaC कोटिंग उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता प्रदर्शित करती है, जो इसे उच्च तापमान एपिटैक्सी प्रक्रियाओं के दौरान अपनी संरचना और प्रदर्शन को बनाए रखने और बेहतर तापमान सहनशीलता प्रदान करने की अनुमति देती है।

रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंग सामान्य रसायनों और वायुमंडल से संक्षारण प्रतिरोधी है, जो वाहक को रासायनिक क्षरण से बचाती है और इसके स्थायित्व को बढ़ाती है।

कठोरता और घिसाव प्रतिरोध: TaC कोटिंग में उच्च कठोरता और घिसाव प्रतिरोध होता है, जो एपिटैक्सी वेफर वाहक की सतह को मजबूत करता है, क्षति और घिसाव को कम करता है, और इसके जीवनकाल को बढ़ाता है।

तापीय चालकता: TaC कोटिंग अच्छी तापीय चालकता प्रदर्शित करती है, गर्मी अपव्यय में सहायता करती है, एपिटेक्सी परत के लिए एक स्थिर विकास तापमान बनाए रखती है, और प्रक्रिया स्थिरता और स्थिरता में सुधार करती है।

इसलिए, TaC कोटिंग के साथ एक एपिटैक्सी वेफर कैरियर चुनने से उच्च तापमान और रासायनिक वातावरण की आवश्यकताओं को पूरा करते हुए, एलईडी एपिटैक्सी की चुनौतियों का समाधान करने में मदद मिलती है। यह कोटिंग उच्च तापमान स्थिरता, रासायनिक स्थिरता, कठोरता और पहनने के प्रतिरोध, और तापीय चालकता जैसे लाभ प्रदान करती है, जो एपिटेक्सी वेफर वाहक के बेहतर प्रदर्शन, जीवनकाल और उत्पादन दक्षता में योगदान करती है।


TaC कोटिंग के बुनियादी भौतिक गुण:

TaC कोटिंग के भौतिक गुण
घनत्व 14.3 (ग्राम/सेमी³)
विशिष्ट उत्सर्जन 0.3
थर्मल विस्तार गुणांक 6.3 10-6/के
कठोरता (एचके) 2000 एच.के
प्रतिरोध 1×10-5 ओम*सेमी
तापीय स्थिरता <2500℃
ग्रेफाइट का आकार बदल जाता है -10~-20um
परत की मोटाई ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)


वीटेक सेमीकंडक्टर प्रोडक्शन शॉप


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